[发明专利]标准工具和在标准工具上形成多个单元的系统和方法

权利要求书

1.一种在标准工具上形成多个单元的方法，包括：

朝向光线移位装置发射第一激光脉冲；

生成幅度基于第一幅值的第一信号，所述第一幅值是与标准工具上单 元的位置误差距离范围内位置误差距离的预定分布相关的多个幅值之一；

响应所述第一信号调整光线移位装置的操作参数；

引导来自所述光线移位装置的第一激光脉冲，以使所述第一激光脉冲 在标准工具上的第一位置处形成第一单元；

朝向所述光线移位装置发射第二激光脉冲；

生成幅度基于第二幅值的第二信号，所述第二幅值是与标准工具上单 元的位置误差距离的预定分布相关的多个幅值之一；

响应所述第二信号调整光线移位装置的操作参数；以及

引导来自所述光线移位装置的第二激光脉冲，以使所述第二激光脉冲 在标准工具上的第二位置处形成第二单元。

2.权利要求1的方法，还包括：

朝向所述光线移位装置发射第三激光脉冲；

生成幅度基于第一幅值的第三信号，所述第一幅值与标准工具上单元 的位置误差距离的预定分布相关；

响应所述第三信号调整光线移位装置的操作参数；以及

引导来自所述光线移位装置的第三激光脉冲，以使所述第三激光脉冲 进一步形成所述第一单元。

3.一种在标准工具上形成多个单元的系统，包括：

激光器，配置所述激光器以发射第一激光脉冲；

可操作地与所述激光器连通的控制器，配置所述控制器以生成幅度基 于第一幅值的第一信号，所述第一幅值是与标准工具上单元的位置误差距 离范围内位置误差距离的预定分布相关的多个幅值之一；

可操作地连接在第一装置上的光线移位装置，配置所述第一装置以响 应所述第一信号调整光线移位装置的操作参数，配置所述光线移位装置以 引导第一激光脉冲，从而在响应所述第一信号调整光线移位装置的操作参 数之后，所述第一激光脉冲在标准工具上的第一位置处形成第一单元；

进一步配置所述激光器，以发射第二激光脉冲；

进一步配置所述控制器，以生成幅度基于第二幅值的第二信号，所述 第二幅值是与标准工具上单元的位置误差距离的预定分布相关的多个幅值 之一；

进一步配置所述第一装置，以响应所述第二信号调整光线移位装置的 操作参数；以及

进一步配置所述光线移位装置以引导所述第二激光脉冲，从而在响应 所述第二信号调整光线移位装置的操作参数之后，所述第二激光脉冲在标 准工具上的第二位置处形成第二单元。

4.权利要求3的系统，其中；

进一步配置所述激光器以发射第三激光脉冲；

进一步配置所述控制器以生成幅度基于第一幅值的第三信号，所述第 一幅值与标准工具上单元的位置误差距离的预定分布相关；

进一步配置所述第一装置，以响应所述第三信号调整光线移位装置的 操作参数；以及

进一步配置所述光线移位装置以引导所述第三激光脉冲，从而在响应 所述第三信号调整光线移位装置的操作参数之后，所述第三激光脉冲进一 步形成所述第一单元。