[发明专利]光导纤维母材的制造方法及其装置

权利要求书

1、一种光导纤维母材的制造方法，用于制造光导纤维母材，其特征在于，包括以下步骤：

多孔质玻璃母材形成步骤，对玻璃微粒子进行堆积形成多孔质玻璃母材；容器准备步骤，准备合成石英玻璃制容器，该容器是对利用氢氧火焰水解硅化合物所生成的玻璃微粒子进行堆积而成的粉末堆积体再进行熔融而形成的；气体导入步骤，向该容器导入脱水反应气体及惰性气体；加热步骤，对导入了脱水反应气体及惰性气体的该容器进行加热；脱水烧结步骤，在被加热的该容器内插入所述多孔质玻璃母材，并进行脱水和烧结。

2、根据权利要求1所述的光导纤维母材的制造方法，所述硅化合物为SiCl₄、(CH₃)SiCl₃、(CH₃)₂SiCl₂中的任意一种或它们的混合化合物。

3、根据权利要求1所述的光导纤维母材的制造方法，在所述加热步骤中，至少有比通过加热源加热的区域更宽的部分是合成石英玻璃制的。

4、根据权利要求1所述的光导纤维母材的制造方法，在所述脱水烧结步骤中，将合成石英玻璃制的容器暴露在超过1400℃的温度下的时间总和设定为，在该容器的合成石英玻璃管的至少一部分区域内玻璃层在厚度方向上全部结晶化为止的时间以内。

5、根据权利要求1所述的光导纤维母材的制造方法，在所述脱水烧结步骤中，将合成石英玻璃制的容器暴露在超过1400℃的温度下的时间总和设定为，在1,500小时乘以该容器的合成石英玻璃的厚度(mm)所得的时间以内。

6、一种光导纤维母材的制造装置，是对光导纤维用多孔质玻璃母材进行脱水和烧结的装置，其特征在于，构成一部分装置的炉芯管为合成石英玻璃制的容器，该合成石英玻璃制容器是对利用氢氧火焰水解硅化合物所生成的玻璃微粒子进行堆积而成的粉末堆积体再进行熔融而形成的。

7、根据权利要求6所述的光导纤维母材的制造装置，所述硅化合物为SiCl₄、(CH₃)SiCl₃、(CH₃)₂SiCl₂中的任意一种或它们的混合化合物。

8、根据权利要求6所述的光导纤维母材的制造装置，至少有比通过加热源加热的区域更宽的部分是合成石英玻璃制的。