[发明专利]制造薄膜电化学能源的方法和装置

权利要求书

1、一种制造薄膜电化学能源的方法，包括如下步骤：

-将第一电极层(4，4’)沉积在衬底上(5)上，

-将电解质层(3，3’)沉积在第一电极(4，4’)上，和

-将第二电极层(2，2’)沉积在电解质层(3，3’)上，

其中第一电极层(4，4’)与第二电极层(2，2’)中之一是阳极材料而另一电极是阴极材料，其特征在于，阳极材料和阴极材料被沉积为充电状态的材料，形成充电的电池堆栈。

2、根据权利要求1的方法，其特征在于，在沉积至少一个电极层(2，2’，4，4’)之后，所形成的层或层堆栈(1，1’)的至少一个电特征被测量。

3、根据权利要求1或2的方法，其特征在于，该方法被应用在装置制造中，其中装置的功能在制造过程中利用来自装配好的薄膜电化学能源的能量而被检测。

4、根据权利要求3的方法，其特征在于，该装置从包括如下内容的组中选择：照明装置、可移植装置、助听器、传感器装置和DC/DC转换器。

5、根据前述任意一项权利要求所述的方法，其特征在于，薄膜电化学能源是锂离子电池，其中阳极被沉积为富锂阳极材料，而阴极被沉积为缺锂阴极材料。

6、根据权利要求5的方法，其特征在于，富锂材料是Li_XSi，其中x从1到4.4。

7、根据权利要求5或6的方法，其特征在于，缺锂阴极材料是Li_yCoO₂，其中y从0.5到0.6。

8、根据前述权利要求1-4中任意一项的方法，其特征在于，薄膜电化学能源是金属氢化物电池，其中阳极被沉积为金属氢化物，而阴极被沉积为金属氢氧化物。

9、根据权利要求8的方法，其特征在于，金属氢化物是镁钛氢化物。

10、根据权利要求8或9的方法，其特征在于，金属氢氧化物是氢氧化镍。

11、可通过根据前述任意一项权利要求的方法获得的薄膜电化学能源。

12、包括根据权利要求11的薄膜电化学能源的电气装置。

13、根据权利要求12的电气装置，其特征在于，薄膜电化学能源被集成在该装置中。