[发明专利]电子束蒸发装置

权利要求书

1.一种电子束蒸发装置，包括真空加工室(2)、产生用于加热位于 容器(4)里的待蒸发物料(5)的电子束(7)的轴向电子枪(6)、和置在容器上 的隔挡(9)，该隔挡具有至少一个蒸发孔(10)，物料蒸气穿过该蒸发孔到 达该基材(3)，其中隔挡(9)不具有到轴向电子枪(6)的机械接触，其特征 在于，该隔挡(9)包括磁系统(14)，借助该磁系统，该电子束(7)可经过该 蒸发孔(10)转向到该待蒸发物料(5)，其中该磁系统(14)由永磁体(15)的两 个部分组成，其中的第一部分从电子束方向上看在蒸发孔(10)之前，而 第二部分设置在蒸发孔(10)之后。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该容器是水冷铜坩锅。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该容器(4)以绝热体、 所谓的“热坩锅”的形式构成。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该容器包括用于追踪 待蒸发物料的装置。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该隔挡(9)成板状。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该隔挡成罩状。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该隔挡部分地或完全 包围该物料。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该隔挡(9)在朝向该 待蒸发物料的一侧具有由导热能力差的耐热材料构成的第一层(12)，并 且在远离该待蒸发材料的一侧具有由导热能力强的材料构成的第二层 (13)。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，第一层(12)由石墨毡、 混合颗粒或砾石堆层构成。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，第二层(13)由铜、 纯石墨、铝或不锈钢构成。

11.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，第二层(13)被水冷。

12.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该蒸发孔(10)成矩 形。

13.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在基材运动方向上 看，该蒸发孔(21)在中心的开口尺寸小于该蒸发孔在边缘区的开口尺寸。

14.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该电子束至少在该 隔挡的局部区域上可转向。

15.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该待蒸发物料或/ 和该容器作为气体放电的电极被通电。