[发明专利]容量减少的载物台，传送，加载端口，缓冲系统

权利要求书

1.一种半导体工件加工系统包括：

至少一种用于加工半导体工件的加工工具；

主级传送系统，其具有一个或多个恒速的传送循环，被配置使得独 立地进行半导体工件的工件传送，并沿主级传送系统独立地以恒速移动 工件流；

次级传送系统，其具有一个或多个恒速的传送循环，被构造成使得 独立地进行工件传送并沿次级传送系统以恒速移动工件流，次级传送系 统通过排队部件与主级传送系统相连，其中排队部件的设置允许工件在 主级传送系统与次级传送系统之间移动而不会打断主级或次级传送系统 的工件传送流；并且

一个或多个接口，其通过接口分流器连接到次级传送系统的一个或 多个传送循环，用于与至少一种加工工具相接，其中接口分流器的设置 允许工件在次级传送系统的一个或多个传送循环与一个或多个接口之间 移动而不会打断沿次级传送系统的恒速的工件传送流；

其中沿主级和次级传送系统的工件传送流是恒速的，并且次级传送 系统包括固态电机。