[发明专利]制造溅射靶的方法和所制造的靶产品

权利要求书

1.一种制造溅射靶的方法，其包括以下步骤：熔融金属靶材料，以使熔融靶材料几乎不过热的方式控制熔融靶材料的温度，将熔融靶材料引入具有内壁的模具中，该内壁以所期望的靶的形状形成模腔，以及按一定速度从模具抽取热量使熔融靶材料固化，以固化靶材料，以形成在整个靶上均匀地具有蜂窝状非枝晶的微结构的溅射靶。

2.根据权利要求1的方法，包括：在引入熔融靶材料之前，将模具加热到足够高的高模具温度，以阻止与模具内壁直接相邻形成大量柱状晶粒。

3.根据权利要求1的方法，其中将熔融靶材料的温度控制在靶材料的熔点的0～20℉之内。

4.根据权利要求的方法，进一步包括：将固化的溅射靶热等静压。

5.根据权利要求1的方法，其中以一定速度抽出热量，以生产出3或3以下的ASTM晶粒尺寸的铸态溅射靶。

6.根据权利要求1的方法，其中模具包括陶瓷模具、石墨模具或金属模具。

7.根据权利要求1的方法，其中通过降低供应到感应线圈的功率来控制熔融靶材料的温度。

8.根据权利要求1的方法，包括：将靶材料固化为需要最少机械加工的靶形状。

9.根据权利要求1的方法，其中靶材料包含钴基合金，该钴基合金包括选自由硼、铬、铂、钽、钌、铌、铜、钒、硅、银、金、铁、铝、锆和镍构成的组中的合金元素。

10.一种溅射靶，其包含金属靶材料，该材料在整个靶上均匀地具有基本上等轴的、蜂窝状非枝晶的微结构。

11.根据权利要求8的靶，其具有的ASTM晶粒尺寸为3或3以下。

12.根据权利要求8的靶，其通过热等静压被压实。

13.根据权利要求10的靶，其包含钴基合金，该钴基合金包括选自由硼、铬、铂、钽、钌、铌、铜、钒、硅、银、金、铁、铝、锆和镍构成的组中的合金元素。