[发明专利]陶瓷的制备方法、由此制得的陶瓷及其尤其是作为溅射靶的用途

权利要求书

1.一种制备由无机基体材料制成的掺杂了元素J的陶瓷的方法，

所述陶瓷由式(I)E_α-x′^kJ_x′^mO_{β-x′(k-m)/2}^2-□_x′(k-m)/2表示，其中，

-E_α^kO_β^2-表示所述无机基体材料；

-E表示选自元素周期表中第I族至第VIII族中的至少一种金属，以 及k表示式(I)中E的平均氧化程度；

-J表示选自元素周期表中第I族至第VIII族中的至少一种金属，以 及m表示元素J的平均氧化程度，m＜k；

-α、k和β是1至20之间的正数，并且满足αk-2β＝0；

-x′表示正整数，并且x′＜α；以及

-□表示阴离子空位；

或者，所述陶瓷由式(II)M_x-x′^qJ_x′^mT_yⁿO_{z-x′(q-m)/2}^2-□_x′(q-m)/2或式(III) M_x^qT_y-x′ⁿJ_x′^mO_{z-x′(n-m)/2}^2-□_x′(n-m)/2之一表示，其中，

-M_x^qT_yⁿO_z^2-表示所述无机基体材料；

-M和T各自表示选自元素周期表中第I族至第VIII族中的至少一 种金属，M和T不相同；

-J表示选自元素周期表中第I族至第VIII族中的至少一种金属；

-x、y、q、n和z是正整数，并且满足qx+ny＝2z；

-q是M的氧化程度，n是T的平均氧化程度，以及m是J的平均 氧化程度；

-在式(II)中，0＜x′＜x，m＜q；

-在式(III)中，m＜n，0＜x′＜y；

所述方法包括：

-混合步骤，该混合步骤是将粉末形式的无机基体材料与粉末形式 的无机掺杂剂混合；和

-烧结步骤，该烧结步骤在高于800℃的温度下进行；

所述方法的特征在于，在烧结步骤之前，施加在粉末上的力小于或等 于5kg/cm²。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述无机基体材料满 足：

-式E_α^kO_β^2-，其中E表示选自由Fe、Cu、Co、W、Mo、Ti、Cr、 Sn和In组成的组中的至少一种金属；或者

-式M_x^qT_yⁿO_z^2-，M和T不相同，M选自由Li、Na、K、Ag、Cu和 Ti组成的组中，T选自由Ni、Co、W、Mn、Cr、Fe、V和Ti组成的组中。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述无机掺杂剂包含一 种或多种阳离子，该阳离子的氧化程度低于构成无机基体材料的阳离子的 氧化程度。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述无机掺杂剂与无机 基体材料的摩尔比在0.001至0.4之间。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述烧结步骤在环境气 氛中或者在惰性气氛下，在800℃至1700℃的温度下进行并维持一段时 间，该时间在1至100小时之间。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述无机基体材料选自 由氧化物、卤氧化物及其混合物组成的组中。