[发明专利]用于沉积电绝缘层的方法

权利要求书

1.一种借助于真空涂覆在至少一个工件上制备绝缘层的方法，其中电弧 放电在电弧源的至少一个阳极和一个阴极之间于含反应性气体的气 氛中运行，其特征在于，通过在与所述阴极电连接的靶上产生基本上 垂直于靶表面的外磁场，该外磁场包括垂直于该靶表面的分量B_z以 及平行于所述靶表面并且比垂直于该靶表面的分量B_z更小的分量B_r， 其中向由至少一个基本呈轴向极化的线圈组成的磁系统施加励磁电 流，所述线圈具有类似于靶周边的几何形状，且其中所述外磁场在所 述靶表面的垂直分量B_z调节为3-50高斯。

2.权利要求1的方法，其特征在于，在靶表面上的垂直分量B_z调节为 5-25高斯。

3.权利要求1的方法，其特征在于，所述磁系统基本上配置在含靶表面 的平面中。

4.权利要求1的方法，其特征在于，所述磁系统配置在靶表面后面。

5.权利要求1-4之一的方法，其特征在于，对电弧放电供给直流电流和 脉冲电流，或者直流电流和交流电流。

6.权利要求5的方法，其特征在于，在所述电弧源的所述阴极和与电弧 源分开设置的另一电极之间运行有脉冲电流供应源。

7.权利要求6的方法，其特征在于，所述另一电极为另一电弧源的另一 阴极，其中所述另一阴极与直流电流供应源相连。

8.权利要求6的方法，其特征在于，所述另一电极是溅射源的溅射阴极。

9.权利要求1的方法，其特征在于，所述靶和至少另一个靶以相互呈角 度或相对设置排列的方式运行，并且至少一个工件设置在所述靶和至 少另一个靶之间。

10.权利要求1的方法，其特征在于，所述励磁电流是从电源经所述线 圈流到所述阴极的下列之一：

直流电流

脉冲电流

交流电流，

脉冲电流加上直流电流，

交流电流加上直流电流。

11.权利要求10的方法，其特征在于，使用匝数为1-20匝的线圈。

12.权利要求1的方法，其特征在于，使用由含铝的合金制成的靶，并 且从靶表面蒸发含铝的合金或含铝的合金的化合物。

13.权利要求12的方法，其特征在于，所述合金包括铝与第IV-VI副族 的一种或多种过渡金属以及Fe、Si、B和C的合金。

14.权利要求12的方法，其特征在于，所述合金包括AlTi合金、AlTa 合金、AlV合金、AlCr合金或AlZr合金。

15.权利要求1的方法，其特征在于，该含反应性气体的气氛包括氧或 由氧组成，并且产生作为绝缘层的含氧化物的层。

16.权利要求15的方法，其特征在于，在工件上除施加至少一层含氧化 物的绝缘层外还施加至少一层粘附层和／或硬层，其中最外面的层是 含氧化物的绝缘层。

17.权利要求16的方法，其特征在于，至少一个过渡层施加在以下层中 的两个之间：

绝缘层、

粘附层

硬层，该过渡层含该两直接相邻的层的元素。

18.权利要求1的方法，其特征在于，所述含反应性气体的气氛包括含 硼化合物或由含硼化合物组成，并且沉积含硼的层作为绝缘层。

19.权利要求1的方法，其特征在于，所述电弧放电借助下列之一运行： 直流电流发电机

脉冲电流发电机

交流电流发电机，

直流电流发电机和脉冲电流发电机，

直流电流发电机和交流电流发电机。

20.权利要求1的方法，其特征在于，在阴极和阳极之间配置限制环， 其中该限制环不与阴极和阳极电接触，且该限制环由电绝缘体或由 Al、Cu或Ag制成。