[发明专利]微细结构体及其制造方法、传感器件及拉曼分光用器件无效
| 申请号： | 200780027434.9 | 申请日： | 2007-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101490535A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 都丸雄一 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01N21/27;G01N21/64 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微细 结构 及其 制造 方法 传感 器件 分光 | ||
【权利要求书】：
1.一种微细结构体的制造方法，该微细结构体在金属基板上排列有多个金属粒子，该微细结构体的制造方法的特征在于，按顺序实施如下工序：
作为所述金属基板，准备表面具有凹凸结构的凹凸金属基板的工序(A)；
在所述凹凸金属基板的所述表面上，形成以和该凹凸金属基板的构成金属不同的金属作为主要成分的金属膜的工序(B)；
通过退火处理，使该金属膜的构成金属凝聚并且粒子化的工序(C)。
2.如权利要求1所述的微细结构体的制造方法，其特征在于，在工序(C)中，将所述退火处理温度设定为所述金属膜的融点以上且低于所述凹凸金属基板融点。
3.如权利要求1或2所述的微细结构体的制造方法，其特征在于，在工序(B)中，以所述凹凸结构的凹部的深度以上的膜厚形成所述金属膜。
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