[发明专利]脱模用垫板

说明书

技术领域

本发明涉及一种脱模用垫板，详细地说是涉及一种从成型的模具上拆掉成型后的制品时用来使脱模良好的脱模用垫板。

背景技术

在制造以碳化硅和氮化铝等为原材料的构件时，将碳化硅等原料在收容于石墨质模具和石墨制成型容器等中的状态下加热、加压，成型为模具等模的形状。在这种成型之际，若将原料直接放入模具中加热，则原料、模具等均达到非常高的温度，从而，产生由于两者反应而造成的模具等损伤和由于模具等含有的杂质而污染原料。另外，若在原料的蒸发气体等接触到原料的状态下进行成型，则产生制造出来的制品有气泡、品质降低的问题。

考虑到这些问题，以前就在成型物质的模和原料之间夹入脱模用垫板，例如，石英玻璃制造中，在二氧化硅粉末和石墨质模具之间夹入由石墨质碳素纤维组成的毛毡材料和石墨垫板等(例如，参照下述专利文献1～3)。

具体地说，上述专利文献1、2中所述的宗旨是使用体积密度为0.1～1.5g/cm³、且Na、K、Fe及Ti各杂质为1ppm以下这样高纯度化的石墨毛毡和石墨垫板等。叙述了石墨毛毡及石墨垫板均具有伸缩性和通气性，而且，石墨垫板由于与二氧化硅粉末反应而造成的消失量少，再因为表面平滑，从而适于获取玻璃面的平整度。

另外，专利文献3中所述的宗旨是在填充二氧化硅粉末和圆筒形状构成石墨质碳的接触部分夹入由石墨质碳素纤维组成的体积密度为0.1～0.5g/cm³的碳毛毡。并且，叙述了碳毛毡具有的功能是排出二氧化硅蒸发气体和随着碳毛毡与二氧化硅反应而产生的气体，而且，能够吸收制造出来的玻璃和圆筒形状构成石墨质碳的热膨胀差，因此具有防止玻璃制造后冷却时两者破坏的功能。

专利文献1：特开平11—228166号

专利文献2：特开平11—278857号

专利文献3：特开平10—167742号

然而，尽管专利文献1～3中石墨毛毡及石墨垫板、碳毛毡(将它们统称，以下有时只称为垫板)具有一定程度的伸缩性和通气性，但是这些特性并不充分，从而还无法消除模具和玻璃等由于热膨胀差引起的破损、制品产生气泡这样的问题。

另外，从模具中取出制造出来的制品时，产生垫板附着在制品上的现象，从而必须从制品上去除垫板。去除该垫板需要较长时间，从而存在制品生产效率降低的问题。而上述专利文献3中并没有对于解决这些问题的方法进行任何叙述。

再有，当垫板附着在制造出来的制品上时，即使从制品上去除垫板，垫板表面的凹凸也转印在制品表面上。此时，如果转印的凹凸大，则从制品去除的部分就多，因此，用来去除凹凸的作业时间长，导致生产效率的进一步降低。此外，去除垫板时往往也要削去制品，因此若其去除量增多，则还产生制品的壁厚比规定值薄，制品的有效利用率降低的问题。关于这点，现有在专利文献1中对石墨垫板其表面平滑且适于获取玻璃面的平整度有一定程度的叙述，而关于要将垫板表面设计为何种程度的面精度才能缩短凹凸去除作业、或提高有效利用率，并没有具体指出。

另一方面，作为具有伸缩性和通气性的材料有膨胀石墨垫板，该膨胀石墨垫板具有柔软性和压缩性、通气性等，具有适于作为脱模用垫板的优异性能，却没有发现对适用于脱模用垫板的优异性能进行具体考虑、探讨的例子。

发明内容

本发明即是鉴于上述事情产生的，其目的在于提供一种采用膨胀石墨作为原材料的脱模用垫板，在加压压缩碳化硅和氮化铝等制造时，能够保证高制品品质，而且能够飞跃性提高作业效率和有效利用率等。

为了实现上述目的，本发明是一种配置在模具和成形原料之间、由膨胀石墨组成的脱模用垫板，其特征在于，下述(1)式所示的透气率为1.0×10^-4cm²/s以下。

透气率＝Q·L/(ΔP·A)…(1)

其中，上述(1)式中，Q为气体流量(Pa·cm³/s)，ΔP是两室间的压力差(Pa)，A是脱模用垫板的透气面积、也就是连通两室的通路的面积(cm²)，L是脱模用垫板的厚度(cm)。

如果如上述构成那样极低地限制脱模用垫板的透气率，则在碳化硅和氮化铝等制造过程中，当在原料和模具等之间配置脱模用垫板时，能够抑制气化的原料、脱模用垫板和原料反应产生的气体透过脱模用垫板。从而能够抑制气体和模具反应，因此能够防止模具的恶化。

优选是上述(1)式所示的透气率为1.0×10^-9cm²/s以上。