[发明专利]用流体承载的定位盘以及用于使激光光学器件相对于该定位盘的轴偏置的装置进行激光微加工的光学组件

权利要求书

1.一种激光光学组件，其包括：

光学头(12)，其带有成像或聚焦透镜以及透镜控制装置并且适于提供激光束(14)，从而沿着射束(14)的轴在该组件的基准点处产生掩膜图像或射束焦点(13)；

工作站(W)，其适于使基板工件(15)相对于基准点而定位，从而使掩膜图像或射束焦点(13)沿着射束(14)的轴而定位，射束(14)的轴垂直于通过工作站(W)而定位的基板工件(15)；该工作站(W)还适于使工件(15)在给定的方向(X，Y)中横切射束(14)的轴而进行位移；

定位盘(11)以及用于在工作站(W)上的基板工件(15)的定位盘区域上面流体承载该定位盘的装置；以及

连接装置，其将定位盘(11)与光学头连接，以致定位盘(11)能够使光学头(12)相对于轴向(X，Y)进行位移；

其特征在于偏置装置(D)，由此至少当定位盘(11)被流体承载时，在垂直于射束(14)的轴的方向中定位盘(11)和定位盘轴(P’)离激光射束(14)的轴有一定的偏移。

2.如权利要求1所述的激光光学组件，其特征在于，偏置装置(D)使定位盘(11)能够定位成使得射束(14)处于定位盘(11)与工作站(W)上的工件(15)的边缘(17，17’)或转角(16)之间，从而使激光束(14)通过定位盘(11)至少稳定地定位到工件(15)的边缘(17，17’)或转角(16)。

3.如权利要求1或2所述的激光光学组件，其特征在于，连接装置使定位盘(11)围绕着垂直于射束(14)的一条或两条轴(X，Y)作小程度的转动，从而使定位盘(11)自动地作枢轴转动，以致于定位盘(11)的底面能平行于基板(15)的表面而定位。

4.如前述任一项权利要求所述的激光光学组件，其特征在于，定位盘(11)适于在平行于基板(15)的表面的平面中且在平行于方向(X，Y)的方向中相对于光学头(12)进行移动，其中，在涉及定位盘(11)且用射束(14)进行处理的过程中基板(15)是在方向(X，Y)中移动的。

5.如前述任一项权利要求所述的激光光学组件，其特征在于，定位盘(11)适于在平行于基板(15)的表面的平面中且在围绕着轴(P’)的环形方向中相对于光学头(12)进行移动，轴(P’)垂直于基板的表面。

6.如前述任一项权利要求所述的激光光学组件，其特征在于，定位盘(41，图4)通过用于每个光学头(42，42’)的单独的连接装置，与一个以上的光学头(42，42’)连接，从而定位盘(41)能够使所有这种光学头(42，42’)相对于轴向(X，Y)进行位移。