[发明专利]激光刻印处理

权利要求书

1.一种利用激光束扫描仪组件(13)在太阳能板(11)上的薄涂层中准确地进行激光刻线的方法，所述激光束扫描仪组件(13)包括光学系统和扫描仪透镜，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

使用扫描仪组件(13)使激光束(12)在第一方向(X)中移动，以在板(11)上刻印线段(15)，所述线段(15)是所需总的线长度的一小部分；

在垂直于第一方向(X)的第二方向(Y)中相对于板(11)连续地移动扫描仪组件(13)，以形成刻线的条带(16)；

将扫描仪组件(13)定位，以致在待处理的每下一个条带中的刻线的起始位置与已处理的上一个条带中的刻线的完成位置末端准确地重迭，从而使所有的刻线互相连接；以及

重复上述的使用和移动步骤来形成多个平行的刻线条带，从而用连续的刻线来覆盖所述板的整个区域。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括如下步骤：提供光学系统和扫描仪透镜(13)以使激光束(12)在板(11)的表面上聚焦。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括如下步骤：提供光学系统和扫描仪透镜(13)以使激光束(12)在板(11)的表面上成形、均质化且成像。

4.如权利要求2或3所述的方法，其特征在于，使用一个以上的扫描仪组件(23，23’，图2)，每一个组件(23，23’)被平行地使用。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法是在真空腔内实施的。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括以下步骤：提供连接到扫描仪(42)的单一检测器(45’)，使得在初次刻印操作之后的第二次刻印操作期间，该检测器(45)用于检测板(41)上与正被处理的条带相邻的区域中现有的层上的先前刻线(43)的位置，以便相对于初次刻印操作准确地设置第二次刻印操作。

7.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括如下步骤：提供连接到每一个扫描仪(42)的至少两部检测器(45，45’)，使得在第二次刻印操作期间，检测器(45，45’)用于检测板(41)上与正被处理的条带相邻的区域中现有的层上的先前刻线的端部位置，以便相对于初次刻印操作在角度和位置方面准确地设置第二次刻印。

8.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括如下步骤：提供连接到每一个扫描仪(42)的至少两部检测器(45，45’)，使得在第二次刻印操作期间，检测器(45，45’)用于检测板(41)上与正被处理的条带相邻的区域中现有的层上的先前刻线的端部位置，以便相对于初次刻印操作在角度和位置方面准确地设置第二次刻印。

9.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括如下步骤：提供连接到每一个扫描仪(42)的至少两部检测器(45，45’)，使得在第二次刻印操作期间，检测器(45，45’)用于检测板(41)上与正被处理的条带相邻的区域中现有的层上的先前刻线的端部位置，以便相对于初次刻印操作在角度和位置方面准确地设置第二次刻印。

10.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括如下步骤：提供连接到每一个扫描仪(42)的至少两部检测器(45，45’)，使得在第二次刻印操作期间，检测器(45，45’)用于检测板(41)上与正被处理的条带相邻的区域中现有的层上的先前刻线的端部位置，以便相对于初次刻印操作在角度和位置方面准确地设置第二次刻印。