[发明专利]降低双束雷射处理系统中相干串音的方法

权利要求书

1.一种在一目标样品的工作表面处形成具有受控稳定性的两道雷射处理射束的方法，其包括：

提供沿着分离的第一射束路径与第二射束路径传播且相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束；

在一光学组件串中的一共同射束路径部份之中刻意结合所述相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束，用以实施所述第一雷射射束与第二雷射射束所共同的光学特性调整；

将所述先前经过结合的第一雷射射束与第二雷射射束分离成沿着个别的第三射束路径与第四射束路径来传播的第三雷射射束与第四雷射射束，所述第三雷射射束与第四雷射射束包含个别的第三主射束分量与第四主射束分量，并且所述第三雷射射束与第四雷射射束中其中一者产生一泄漏分量，所述泄漏分量与所述第三雷射射束与第四雷射射束中另一者的主射束分量以相互时间相干的方式来共同传播；以及

降低所述泄漏分量及与所述泄漏分量共同传播的所述第三主射束分量与第四主射束分量中另一者之间的相互时间相干性的效应，以便传送与所述第三射束及第四射束对应的稳定的第一处理射束与第二处理射束至所述工作件。

2.如权利要求1所述的方法，其中，降低所述相互时间相干性的效应包括在一共同射束路径部份之中刻意结合所述相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束之前先于它们分离的射束路径之中设定一光学路径-长度差，所述光学路径-长度差的数额是降低所述泄漏分量及与所述泄漏分量共同传播的所述第三射束分量与第四射束分量中另一者之间的相互时间相干性，并且从而是降低所述相互时间相干性对所述第一处理射束与第二处理射束的稳定性所造成的效应。

3.如权利要求2所述的方法，其中，所述相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束具有一相干性长度，且其中，所述光学路径-长度差大于所述相干性长度。

4.如权利要求2所述的方法，其中，所述光学路径-长度差是通过递增改变 所述分离的第一射束路径与第二射束路径其中一者之中的空气路径长度而达成。

5.如权利要求2所述的方法，其中，所述光学路径-长度差是通过在所述分离的第一射束路径与第二射束路径其中一者之中设置一厚度d且折射率n的折射式光学组件以便引进等于(n-1)d的光学路径-长度变化而达成。

6.如权利要求1所述的方法，其中，所述光学特性调整包括射束宽度放大。

7.如权利要求1所述的方法，其中，所述泄漏分量的特征为频率，并且进一步包括：

在降低所述泄漏分量及所述第三主射束分量与第四主射束分量中另一者之间的相互时间相干性对所述第一处理射束与第二处理射束的稳定性所造成的效应的频率处，对所述相互相干的第一射束与第二射束中其中一者进行频率偏移，并且从而对所述第三雷射射束与第四雷射射束中其中一者的泄漏分量进行频率偏移。

8.如权利要求7所述的方法，其中，所述泄漏分量对应于一相干串音频率Δω，其中，所述第一处理射束与第二处理射束运作在个别的第一标称导通带与第二标称导通带之中，且其中，被设置在所述相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束其中一者的射束路径之中的一调变装置实施所述频率偏移，所述调变装置的特征为具有用以在所述泄漏分量上提供一频率值的信号特性，以便让所述相干串音频率Δω位在所述第一标称导通带与第二标称导通带中一对应导通带的外面。

9.如权利要求8所述的方法，其中，所述调变装置包括一声光调变器。

10.如权利要求9所述的方法，其中，所述声光调变器是通过调整所述相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束之间的相位差来提供所述频率值。

11.如权利要求1所述的方法，其中，所述相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束为脉冲式雷射射束。

12.如权利要求1所述的方法，其中，所述泄漏的特征为频率，且所述方法进一步包括：

在个别的第一频率与第二频率处对所述相互相干的第一射束与第二射束进行频率偏移并且从而对所述第三雷射射束与第四雷射射束中其中一者的泄 漏分量进行频率偏移，所述频率偏移是降低所述泄漏分量及所述第三主射束分量与第四主射束分量中另一者之间的相互时间相干性对所述第一处理射束与第二处理射束的稳定性所造成的效应。