[发明专利]金属电镀组合物和用于沉积适合于生产薄膜太阳能电池的铜-锌-锡的方法有效
申请号: | 200780028220.3 | 申请日: | 2007-05-15 |
公开(公告)号: | CN101522954A | 公开(公告)日: | 2009-09-02 |
发明(设计)人: | H·屈恩莱恩;J·舒尔策;T·福斯 | 申请(专利权)人: | 埃托特克德国有限公司 |
主分类号: | C25D3/58 | 分类号: | C25D3/58;C25D5/10;C25D5/48;C23C18/48;H01L31/032;H01L31/06 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 程大军 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 电镀 组合 用于 沉积 适合于 生产 薄膜 太阳能电池 方法 | ||
1.用于沉积铜-锌-锡合金的金属电镀组合物,所述合金任选另外含有 至少一种硫属元素,该金属电镀组合物包括至少一种铜电镀物质、至少一 种锌电镀物质、至少一种锡电镀物质和至少一种络合剂,以及此外如果该 合金含有至少一种硫属元素的话,还包括至少一种硫属元素电镀物质,所 述硫属元素为硫或硒;
该组合物的特征在于该金属电镀组合物另外包括至少一种添加剂,该 添加剂选自于具有化学通式I的双取代的苯化合物:
其中R1和R2是相同的或不同的,独立地选自于COOH、 COOCH2CH2OH、COOCH2CH3、COOCH3、NH2、CHO,或者一起形成 CO-NH-SO2部分,所述部分连接到苯环的邻位位置上。
2.权利要求1的金属电镀组合物,其中所述铜-锌-锡合金是 CuxZnySnzCh1aCh2b合金,其中Ch1是第一硫属元素,Ch2是第二硫属元素 并且其中x是1.5-2.5,y是0.9-1.5,z是0.5-1.1,a是0-4.2,b是0-4.2。
3.前述权利要求之一的金属电镀组合物,其中所述铜、锌和锡电镀物 质以铜∶锌∶锡=1∶0.1-10∶0.1-4的摩尔比包含在该组合物中。
4.权利要求1或2的金属电镀组合物,其中所述铜、锌和锡电镀物质以 铜∶锌∶锡=1∶2-8∶0.1-4的摩尔比包含在该组合物中。
5.权利要求1或2的金属电镀组合物,其中所述铜电镀物质是磷酸铜或 焦磷酸铜,并且所述锌电镀物质是磷酸锌或焦磷酸锌。
6.权利要求1或2的金属电镀组合物,其中所述锡电镀物质是锡酸锡。
7.权利要求1或2的金属电镀组合物,其中所述至少一种络合剂选自于 草酸盐、柠檬酸盐和葡萄糖酸盐化合物。
8.权利要求1或2的金属电镀组合物,其中该组合物进一步包括缓冲体 系。
9.权利要求8所述的金属电镀组合物,其中所述缓冲体系包括磷酸氢 盐/磷酸盐。
10.权利要求2的金属电镀组合物,其中a>0,Ch 1是S,并且所述至 少一种硫属元素电镀物质是硫电镀物质,所述硫电镀物质选自于硫代硫酸 盐、硫代磺酸、二(硫代磺基)酸、硫硫化物、硫脲及其衍生物、有机二硫化 物、有机多硫化物、胶体单质硫和形成胶体单质硫的化合物。
11.权利要求2的金属电镀组合物,其中b>0,Ch2是Se,并且所述至 少一种硫属元素电镀物质是硒电镀物质,所述硒电镀物质选自于硒酸盐、 硒亚硫酸盐、联硒化物和多硒化物。
12.沉积铜-锌-锡合金的方法,所述合金任选另外含有至少一种硫属元 素,所述方法包括使基底和阳极与权利要求1-11之一的金属电镀组合物接 触,并且在所述基底和阴极之间使电流流动。
13.权利要求12的方法,其进一步包括通过与硫电镀物质接触使铜- 锌-锡合金硫化。
14.权利要求13的方法,其中所述硫电镀物质选自于单质硫和含有硫 化合物的还原气氛。
15.权利要求12-14之一的方法,其进一步包括向所述合金上沉积硒单 层。
16.权利要求12-14之一的方法,其进一步包括通过与含有硒化合物的 还原气氛接触来硒化所述铜-锌-锡合金。
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