[发明专利]隔膜泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种由使用了压电元件的隔膜(diaphragm)驱动而供给用于进行静电喷雾的液体的隔膜泵(diaphragm pump)。

背景技术

在现有的这种隔膜泵中，通常，为了进行静电喷雾，在喷出液体的喷出部与地线(大地)之间施加静电电压。但是，若该静电电压是过高的高电压(或者过低的低电压)，则在流路中的液体所接触的部位出现电势不同的部分，从而在流路中局部发生电解等，由此可能出现液体溶质发生分离或产生气体等的缺陷。

而作为隔膜泵，如在日本国实用新型公开平2-69079公报中记载的那样，提出有压电泵，该压电泵具有泵致动单元(pump actuator unit)和可装卸地安装在泵驱动单元上的泵连接单元。

但是，由于泵连接隔膜由绝缘树脂形成，所以若为了静电喷雾而施加电压，则整个泵室不为同一电势，从而不能够使液体的电势恒定。因此，如上所述，会产生电解等的缺陷，从而不能够平稳地进行静电喷雾。

此外，如在日本国专利公开2005-98263公报中记载那样，提出有如下的可装卸的泵，即，该泵具有可由隔膜改变容积的泵室和用于驱动隔膜的致动(actuator)单元，由金属粉末成形以及不锈钢等形成泵室体和致动单元。此外，如在日本国专利公开昭63-176679公报中记载的那样，提出有如下的压电泵，即，该压电泵具有与压电元件的驱动部连接的隔膜和由该隔膜驱动的泵室，该隔膜和泵室分别由不锈钢或铜形成为一体。

但是，在为了静电喷雾而施加电压时，用于向泵室体供给液体的液体容器、用于将液体喷雾的喷出部以及到达液体容器和喷出部的各流路不一定由导体构成，从而从液体容器至喷出部的整个流路不为同一电势，因此与在上述日本国实用新型公开平2-69079公报中记载的压电泵同样产生缺陷。

发明内容

发明要解决的问题

为了解决上述问题点，本发明的目的在于提供一种隔膜泵，消除流路中的液体周围的电势差异，以此减少产生因电解等导致的喷出液体恶化等的缺陷，从而将液体平稳地进行静电喷雾。

用于解决问题的手段

为了达到上述目的，本发明的隔膜泵具有：压电元件；隔膜，其通过该压电元件而变形；泵室，其容积与该隔膜联动而发生变动，并且通过该容积的变动而吸入、喷出液体；该隔膜泵用于移动上述液体，以将该液体静电雾化，上述隔膜和上述泵室能够自由装卸，上述隔膜具有将上述压电元件的变形传递至上述泵室的动力传递部，上述泵室具有：从动膜，其与上述动力传递部联动；液体容器，其通过该从动膜而变形，并上述泵室供给液体；第一流路部，其连接上述液体容器和上述泵室；喷出部，其喷出来自上述泵室的液体；第二流路部，其连接上述喷出部和上述泵室；至少在上述隔膜和上述泵室接合时，将上述液体容器、第一流路部、泵室、第二流路部以及喷出部电连接，并使得上述液体容器、第一流路部、泵室、第二流路部以及喷出部处于同一电势。

根据该结构，能够使在从液体容器至泵室、喷出部的大致整个流路中流动的液体的周围成为同一电势，因此，难以产生因在流路存在电势差时出现的因内部电场而使液体发生分离或因电解而产生气体等在液体流动中的缺陷，从而在不导致泵能力下降的情况下，能够将喷出液体平稳地进行静电喷雾。此外，由于能够使泵室与隔膜分离，所以在因液体的汚染而使泵能力降低时能够容易地更换泵室。

本发明在上述改良的发明中，优选上述动力传递部的与上述从动膜接触的面被导电性材料覆盖，并且上述从动膜由树脂膜形成。

根据该结构，由于从动膜由树脂形成，由此即使在泵室内的液体具有金属腐蚀性的情况下，也很难受到由从动膜的腐蚀性带来的影响，从而能够提高泵室的可靠性。

本发明在上述改良的发明中，优选上述从动膜具有将树脂膜和导电膜紧密贴合而形成的层叠膜。

根据该结构，由于由多层膜构成，所以从动膜的强度变强，由此作为导电性材料能够使用更薄的材料，从而从动性变好，动力传递效率提高。此外，在液体具有腐食性的情况下，将从动膜的树脂膜一侧配置在与液体接触的泵室的内侧面，从而难以受到腐食性的影响。此外，能够利用已有的树脂膜和金属箔的双层膜，因此能够降低成本。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的隔膜泵的分解结构图。

图2是上述隔膜泵的整体结构图。

图3(a)是表示上述泵的喷出工序的图，图3(b)是表示上述泵的吸入工序的图，图3(c)是表示对上述泵所使用的压电元件施加正电压时的动作的图，图3(d)是表示对该压电元件施加负电压时的动作的图。