[发明专利]具有静电激活及释放的模拟干涉式调制器装置

权利要求书

1.一种微机电系统装置，其包含：

第一电极；

第二电极，其与所述第一电极电绝缘；

第三电极，其与所述第一电极及所述第二电极电绝缘；

支撑结构，其将所述第一电极与所述第二电极分离，所述第三电极包含所述支撑 结构的导电部分；

光学层及反射元件，其在其之间界定光学腔；

其中所述反射元件位于第一位置与第二位置之间，所述反射元件在所述第一电极 与所述第二电极之间施加电压差时可在所述第一位置与所述第二位置之间移动，当所 述反射元件在所述第一位置中时其与所述装置的一部分接触且当在所述第二位置中 时不与所述装置的所述部分接触；

其中当所述反射元件在所述第一位置中时，在所述反射元件与所述部分之间产生 粘合力，且其中施加到所述第一电极、所述第二电极及所述第三电极的电压至少部分 地降低或抵消所述粘合力。

2.如权利要求1所述的装置，其中当所述反射元件在所述第一位置中时，所述 第三电极的至少一部分比所述反射元件高。

3.如权利要求2所述的装置，其中当所述反射元件在所述第一位置中时，所述 第三电极的至少一部分直接在所述反射元件的至少一部分上方。

4.如权利要求1所述的装置，其中所述第三电极由所述支撑结构支撑。

5.如权利要求1所述的装置，其中所述支撑结构包含一个或一个以上柱且所述 第三电极包含所述柱中的至少一者的导电部分。

6.如权利要求5所述的装置，其中所述支撑结构包含多个柱，每一柱具有导电 部分，且所述第三电极包含所述导电部分。

7.如权利要求6所述的装置，其中所述多个柱相对于所述反射元件大致对称地 定位。

8.如权利要求1所述的装置，其中所述反射元件包含第一层及所述第一层上方 的第二层。

9.如权利要求8所述的装置，其中所述第一层比所述第二层更具挠性。

10.如权利要求8所述的装置，其中所述第一层比所述第二层薄。

11.如权利要求8所述的装置，其中所述第二层覆盖所述第一层的中心部分且不 覆盖所述第一层的一个或一个以上边缘部分。

12.如权利要求8所述的装置，其中所述第一层及所述第二层中的至少一者具导 电性。

13.如权利要求1所述的装置，其中所述反射元件包含比中心部分薄的端部分。

14.如权利要求13所述的装置，其中所述反射元件的至少一部分具导电性。

15.如权利要求1所述的装置，其中所述反射元件包含在所述反射元件的上表面 上方且朝向所述第二电极延伸的一个或一个以上延伸部。

16.如权利要求15所述的装置，其中所述一个或一个以上延伸部在所述反射元 件的一个或一个以上边缘部分上或附近且在所述反射元件的所述上表面上方具有是 所述反射元件的中心部分的厚度的1/3到1/2的高度。

17.如权利要求1所述的装置，其中所述第二电极包含朝向所述反射元件延伸的 一个或一个以上部分。

18.如权利要求1所述的装置，其中所述第三电极包含朝向所述反射元件延伸的 一个或一个以上部分。

19.如权利要求1所述的装置，其中所述光学层的至少一部分导电且包含所述第 一电极。

20.如权利要求1所述的装置，其中所述光学层部分地透明或半透明且部分地反 射光。

21.如权利要求1所述的装置，其进一步包含：

显示器；

处理器，其经配置以与所述显示器进行通信，所述处理器经配置以处理图像数据； 及

存储器装置，其经配置以与所述处理器进行通信。