[发明专利]特征的增强成像

权利要求书

1.一种用于通过激光诱发热转印对特征进行成像的方法，所述方法 包括：

在包括供体元件和接收元件的衬底上，在沿着相应扫描线的某一扫 描方向上扫描多个独立可控的光束，每个光束可操作地用于在所述接收 元件上形成对应的图像像素；

通过操作连续的光束组对特征进行成像，以将图像形成材料从所述 供体元件转印到所述接收元件；以及

在对特征进行成像时，控制第一边缘子组和第二边缘子组的强度以 具有不同于内部子组的强度的强度，所述第一边缘子组为对应于沿着所 述特征的第一边缘延伸的特征的第一部分的一个或多个光束，所述第二 边缘子组为对应于沿着所述特征的第二边缘延伸的特征的第二部分的一 个或多个光束，所述内部子组为对应于所述特征的内部部分的一个或多 个光束；

其中，所述第一边缘子组和第二边缘子组的光束强度大于所述内部 子组的边缘强度。

2.根据权利要求1的方法，包括将所述第一和第二边缘子组中的至 少一个的光束强度设置为超出所述内部子组的至少一些光束的强度3％ 或更多。

3.根据权利要求1的方法，包括将所述第一边缘子组的光束强度设 置为不同于所述第二边缘子组的光束强度。

4.根据权利要求1的方法，包括设置光束组的强度以提供横越所述 特征为不对称的强度轮廓。

5.根据权利要求4的方法，包括设置所述内部子组的光束强度以提 供在所述特征的内部部分中不对称的强度轮廓。

6.根据权利要求1的方法，包括：

维持与每个光束相关联的强度信息，所述强度信息规定在对于任何 特征该光束是在所述第一和第二边缘子组之一中的情况下对该光束设置 的强度；

确定对于所述特征哪些光束在所述第一边缘子组中；以及

依照对应于所述光束的强度信息设置所述第一边缘子组的光束强 度。

7.根据权利要求1的方法，包括：

维持与每个光束相关联的第一强度信息，所述第一强度信息规定在 对于任何特征在该光束是在所述第一边缘子组中的条件下对该光束设置 的强度；

维持与每个光束相关联的第二强度信息，所述第二强度信息规定在 对于任何特征在该光束是在所述第二边缘子组中的条件下对该光束设置 的强度；

确定对于所述特征哪些光束在所述第一边缘子组中；

依照对应于所述光束的第一强度信息设置所述第一边缘子组的光束 强度；

确定对于所述特征哪些光束在所述第二边缘子组中；以及

依照对应于所述光束的第二强度信息设置所述第二边缘子组的光束 强度。

8.一种用于成像多个特征的方法，所述方法包括：

沿着扫描路径相关于接收元件推进成像头以便通过激光诱发热转印 处理将所述多个特征从供体元件转印到所述接收元件，所述成像头包括 可操作地用于单独控制多个光束的光阀，每个光束能够将图像形成材料 从所述供体元件转印到所述接收元件以形成所述多个特征；以及

操作所述光阀以控制所述多个光束，其中转印特征的边缘部分的光 束具有大于转印所述特征的内部部分的光束强度的强度。