[发明专利]光刻胶组成物及其图案化方法

权利要求书

1.一种光刻胶组成物，其特征在于该组成物包含一酚醛型树脂A、以 该酚醛型树脂A为100重量等份为准，一30至60重量等份的重氮萘醌型 光感剂B及以该酚醛型树脂A为100重量等份为准，一10至30重量等份 的低分子物质C，其中该低分子物质C在光源为248nm、193nm和157nm 的一或多种波长时，具有吸光度低于该酚醛型树脂A的吸光度，

其中，该光刻胶组成物可在光源波长为248nm或更短时被使用，且其 中该低分子物质C是一以分子结构式1表示的化合物：

<分子结构式1>

其中R₁及R₂分别为羟基，

且n₁是一1到5范围间的自然数。

2.根据权利要求1所述的光刻胶组成物，其特征在于所述的光刻胶组 成物进一步包含一树脂D，在光源为248nm、193nm和157nm的一或多种 波长时，该树脂D具有吸光度低于该酚醛型树脂A的吸光度，且该树脂D 是一具有如分子结构式4所示的结构单元的聚羟基苯乙烯型树脂且以聚苯 乙烯为基准的重量平均分子量是落在3,000到20,000的范围：

<分子结构式4>

其中R₆是氢。

3.根据权利要求2所述的光刻胶组成物，其特征在于其中所述的光刻 胶组成物以该酚醛型树脂A为100重量等份为准时，包含具有低吸光度的 树脂D的量为5至50重量等份。

4.根据权利要求1所述的光刻胶组成物，其特征在于其中所述的光刻 胶组成物以甲醇稀释浓度至4×10^-5％且使用紫外线/可见光光谱仪量测吸 光度时，其在光源波长为248nm时的光透射率，比在相同的条件下使用紫 外线/可见光光谱仪量测不含具有低吸光度的低分子物质的光刻胶组成物 的吸光度时其在光源波长为248nm时的光透射率，增加了10到35％。

5.根据权利要求1所述的光刻胶组成物，其特征在于所述的光刻胶组 成物为一非化学增幅型光刻胶。

6.一种光刻胶组成物的图案化方法，其特征在于其包括以下步骤：

涂布权利要求1至5中任何一项的该光刻胶组成物；将一部份的光刻 胶组成物层对具有主要波长为248nm或更短的光源曝光；以及移除该光刻 胶组成物层的已曝光部分或未曝光部分。