[发明专利]光调制器

权利要求书

1.一种光调制器，其包括：

具有电光效应的基底；

形成在所述基底中用于使入射光从中通过的光波导；和

行波电极，其用于施加高频电信号，以调制所述入射光的相位，所述行 波电极形成在所述基底的一个表面上，所述行波电极包括中心电极和地电 极；

所述行波电极包括：相互作用部分，其中所述入射光的所述相位在所述 高频电信号被施加到所述行波电极的条件下被调制；输入馈通部分，其用于 从外部电路将所述高频电信号施加至所述相互作用部分；和输出馈通部分， 其用于输出穿过所述相互作用部分传播的所述高频电信号，

其中，所述光调制器还包括：至少一个阻抗转换部分，其用于减小所述 相互作用部分的特性阻抗与所述输入馈通部分的特性阻抗之间的阻抗不匹 配，其中，所述输入馈通部分电连接至连接器芯，所述连接器芯用于输入所 述高频电信号至所述输入馈通部分，

所述阻抗转换部分包括所述行波电极在所述相互作用部分和所述输入 馈通部分之间的一部分，并包括所述输入馈通部分，

所述阻抗转换部分中的至少一个具有与下述几何均值不同的特性阻抗， 该几何均值为所述相互作用部分和电连接至所述连接器芯的所述输入馈通 部分的特性阻抗的几何均值，

从外部电路施加到所述输入馈通部分的所述高频电信号传播进入所述 相互作用部分，并且所述高频电信号的电反射被抑制在实际使用所需要的范 围，并且所述高频电信号的电反射仅在特定频率处不被完全抑制，并且残留 反射剩余覆盖一个宽范围的频率。

2.如权利要求1所述的光调制器，其中，

至少一个所述阻抗转换部分所具有的特性阻抗不同于所述相互作用部 分和所述输入馈通部分的所述特性阻抗的几何均值、所述相互作用部分和电 连接至所述输入馈通部分的电连接器的特性阻抗的几何均值、或者所述相互 作用部分和所述外部电路的特性阻抗的几何均值。

3.如权利要求1所述的光调制器，其中，

至少一个所述阻抗转换部分具有一特性阻抗，该特性阻抗与所述相互作 用部分和所述输入馈通部分的所述特性阻抗的几何均值、所述相互作用部分 和电连接至所述输入馈通部分的电连接器的特性阻抗的几何均值、和所述相 互作用部分和所述外部电路的特性阻抗的几何均值中的至少一个几何均值 相同。

4.如权利要求1-3中的任一项所述的光调制器，其中，

所述阻抗转换部分的所述中心电极的宽度比所述相互作用部分的所述 中心电极的宽度更宽。

5.如权利要求1-3中的任一项所述的光调制器，其中，

所述阻抗转换部分的所述中心电极的至少一部分对齐于所述光波导的 纵向方向。

6.如权利要求1-3中的任一项所述的光调制器，其中，

所述阻抗转换部分形成在基底上，该基底不同于在其上形成了所述相互 作用部分的基底。

7.如权利要求1-3中的任一项所述的光调制器，其中，

所述输入馈通部分的所述中心电极具有用于馈送所述高频电信号的馈 送部分，

所述输出馈通部分的所述中心电极具有用于输出所述高频电信号的输 出部分，

所述相互作用部分的长度比在所述馈送部分和所述输出部分之间的沿 着所述基底的纵向方向的距离更长。

8.如权利要求1-3中的任一项所述的光调制器，其中，

在所述相互作用部分中的、所述入射光的所述相位被调制的区域的一起 始点和用于使所述入射光进入所述光波导的光输入刻面之间的距离短于在 所述用于所述高频电信号的馈送部分和所述光输入刻面之间的沿着所述基 底的纵向方向的距离。

9.如权利要求1-3中的任一项所述的光调制器，其中，

在至少一个所述阻抗转换部分的所述中心电极和所述地电极之间的间 隙的宽度比在所述相互作用部分的所述中心电极和所述地电极之间的间隙 更宽。