[发明专利]惯性力传感器

权利要求书

1.一种惯性力传感器，其具备：检测元件，其配置在挠性体上且具有 检测所述挠性体的变形的多个感应部；检测电路部，其与所述感应部连接且 检测作用于所述挠性体的惯性力，

所述感应部具有由隔着压电体的上部电极和下部电极构成的感应电极 部，

所述检测电路部基于所述感应电极部的自上部电极输出的输出值和自 下部电极输出的输出值，检测作用于所述挠性体的惯性力，

在所述挠性体上平行设置两个第二臂，在一个所述第二臂上配置有第一 感应部，在另一个所述第二臂上配置有第二感应部，

所述第一感应部及所述第二感应部分别具有两个感应电极部，

基于四个所述感应电极部内的、

将从相互为正极的两个上部电极输出的输出值相加的加法值、

将从相互为负极的两个上部电极输出的输出值相加的加法值、

将从相互为正极的两个下部电极输出的输出值相加的加法值、和

将从相互为负极的两个下部电极输出的输出值相加的加法值而检测作 用于所述挠性体的惯性力。

2.一种惯性力传感器，其具备：检测元件，其配置在挠性体上且具有 检测所述挠性体的变形的多个感应部；检测电路部，其与所述感应部连接且 检测作用于所述挠性体的惯性力，

所述感应部具有由隔着压电体的上部电极和下部电极构成的感应电极 部，

所述检测电路部基于所述感应电极部的自上部电极输出的输出值和自 下部电极输出的输出值，检测作用于所述挠性体的惯性力，

在所述挠性体上平行设置两个第二臂，在一个所述第二臂上配置有第一 感应部，在另一个所述第二臂上配置有第二感应部，

所述第一感应部及所述第二感应部分别配置两个感应电极部，

基于所述第一感应部的两个所述感应电极部内的、

将从所述第一感应部的相互为正极的上部电极和下部电极输出的输出 值相加的加法值、和

将从所述第一感应部的相互为负极的上部电极和下部电极输出的输出 值相加的加法值、及

所述第二感应部的两个所述感应电极部内的、

将从所述第二感应部的相互为正极的上部电极和下部电极输出的输出 值相加的加法值、和

将从所述第二感应部的相互为负极的上部电极和下部电极输出的输出 值相加的加法值而检测作用于所述挠性体的惯性力。

3.一种惯性力传感器，其具备：检测元件，其配置在挠性体上且具有 检测所述挠性体的变形的第一感应部和第二感应部；检测电路部，其与所述 第一感应部和第二感应部连接且检测作用于所述挠性体的惯性力，

所述第一感应部具有由隔着压电体的上部电极和下部电极构成的第一 感应电极部和第二感应电极部，

所述第二感应部具有由隔着压电体的上部电极和下部电极构成的第三 感应电极部和第四感应电极部，

设有配置在所述挠性体上且使所述挠性体驱动振动的第一驱动部和第 二驱动部，

所述第一驱动部具有由隔着压电体的上部电极和下部电极构成的第一 驱动电极部和第二驱动电极部，

所述第二驱动部具有由隔着压电体的上部电极和下部电极构成的第三 驱动电极部和第四驱动电极部，

在所述挠性体上平行设置两个第二臂，在一所述第二臂上设置所述第一 感应部，并且在另一所述第二臂上设置所述第二感应部，在所述第二臂上设 置共用的支承部，在所述一第二臂及另一第二臂的关于支承部的相反侧进一 步设置其他的第二臂，在所述其他的第二臂上设置所述第一驱动部和所述第 二驱动部，

所述检测电路部将从所述第一感应部的相互为正极的所述第二感应电 极部的所述上部电极和所述第一感应电极部的所述下部电极输出的输出值 相加，作为第一加法值，

将从所述第一感应部的相互为负极的所述第一感应电极部的所述上部 电极和所述第二感应电极部的所述下部电极输出的输出值相加，作为第二加 法值，

将从所述第二感应部的相互为正极的所述第四感应电极部的所述上部 电极和所述第三感应电极部的所述下部电极输出的输出值相加，作为第三加 法值，

将从所述第二感应部的相互为负极的所述第三感应电极部的所述上部 电极和所述第四感应电极部的所述下部电极输出的输出值相加，作为第四加 法值，

并检测将所述第一加法值与所述第三加法值相加的加法值、和将所述第 二加法值与所述第四加法值相加的加法值的差动增幅值，

将从所述第一驱动部的所述第一驱动电极部的所述上部电极和所述第 一驱动部的所述第二驱动电极部的所述下部电极输出的输出值与所述第三 加法值相加，

将从所述第二驱动部的所述第三驱动电极部的所述下部电极和所述第 四驱动电极部的所述上部电极输出的输出值与所述第二加法值相加，

或者，

所述检测电路部将从所述第一感应部的相互为正极的所述第一感应电 极部的所述上部电极和所述第二感应电极部的所述下部电极输出的输出值 相加，作为第一加法值，

将从所述第一感应部的相互为负极的所述第二感应电极部的所述上部 电极和所述第一感应电极部的所述下部电极输出的输出值相加，作为第二加 法值，

将从所述第二感应部的相互为正极的所述第三感应电极部的所述上部 电极和所述第四感应电极部的所述下部电极输出的输出值相加，作为第三加 法值，

将从所述第二感应部的相互为负极的所述第四感应电极部的所述上部 电极和所述第三感应电极部的所述下部电极输出的输出值相加，作为第四加 法值，

并检测将所述第一加法值与所述第二加法值相加的加法值和、将所述第 二加法值与所述第四加法值相加的加法值的差动增幅值，

将从所述第一驱动部的所述第一驱动电极部的所述上部电极和所述第 一驱动部的所述第二驱动电极部的所述下部电极输出的输出值与所述第四 加法值相加，

将从所述第二驱动部的所述第三驱动电极部的所述下部电极和所述第 四驱动电极部的所述上部电极输出的输出值与所述第一加法值相加。