[发明专利]清洁部件、带清洁功能的搬送部件、基板处理装置的清洁方法有效
| 申请号： | 200780029948.8 | 申请日： | 2007-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN101500718A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 菅生悠树;寺田好夫;宇圆田大介;并河亮;吉田良德;前野洋平 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洁 部件 功能 处理 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种清洁部件，其具有清洁层，所述清洁层在表面具有多个柱 状结构的凸部，其特征在于，
该柱状结构的凸部的长径比为5以上，
所述柱状结构的凸部的突出部分的长度为100nm以上，
所述清洁层表面的柱状结构的凸部的密度为1.0×108个/cm2以 上，
所述清洁层的比表面积为2.0以上。
2.如权利要求1所述的清洁部件，其特征在于，
所述清洁部件用于去除基板上的异物。
3.如权利要求1所述的清洁部件，其特征在于，
所述清洁部件用于去除基板处理装置内的异物。
4.一种带清洁功能的搬送部件，其特征在于，
包括：
搬送部件；和
在该搬送部件的至少一面上设置的权利要求3所述的清洁部件。
5.一种基板处理装置的清洁方法，其特征在于，
包括：向基板处理装置内搬送权利要求4所述的带清洁功能的搬 送部件的步骤。
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