[发明专利]惯性力传感器

权利要求书

1.一种惯性力传感器，其具备：

检测惯性力的检测元件，

所述检测元件具备：

在两个第一臂的任何一个上将两个第二臂分别配置在同一直线上，并 将所述两个第二臂在正交方向上连接于所述第一臂而形成的两个正交臂；

通过连接支承配置在同一直线上的两个所述第一臂而将两个所述正交 臂连接支承在同一平面状的支承部；

连接于所述第一臂并将所述检测元件固定在安装基板上的固定用臂； 以及

连接于四个所述第二臂的前端部的四个锤部，

所述锤部上分别设有凹部，所述第二臂的前端部连接于所述凹部的底 部，所述第二臂在所述第一臂与所述第二臂正交的平面弯折至与所述第二 臂相对，所述锤部在所述第二臂的相对方向上驱动振动。

2.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中，所述锤部的凹部的 深度是所述锤部的长度的0.25倍至0.4倍。

3.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中，

所述固定用臂是所述第一臂和第三臂在正交方向上连接而形成的正交 臂，

所述安装基板通过所述第三臂的两端被固定。

4.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中，

使所述锤部驱动振动的驱动部配置在一侧相对的所述第二臂上，

感应所述第二臂的变形的感应部配置在另一侧相对的所述第二臂上，

所述驱动部以及所述感应部由隔着压电体的上部电极和下部电极构 成。

5.根据权利要求4所述的惯性力传感器，其中，

所述下部电极以及所述压电体配置在所述检测元件的所有臂上。