[发明专利]永磁铁以及永磁铁的制造方法

权利要求书

1.一种永磁铁的制造方法，其特征在于：在处理室内配置铁－硼－稀土类系的 烧结磁铁并加热到800～1100℃范围内的同时，使配置在同一或另一处理室内的含 Dy、Tb中的至少一种的金属蒸发材料加热并蒸发，通过调节该蒸发的金属原子对烧 结磁铁表面的供给量使该金属原子附着，使该附着的金属原子在烧结磁铁表面上形成 由金属蒸发材料构成的薄膜之前，扩散到烧结磁铁的晶界相之中。

2.根据权利要求1所述的永磁铁的制造方法，其特征在于：在前述处理室内配 置铁－硼－稀土类系的烧结磁铁以及以Dy为主要组分的金属蒸发材料的情况下，把 前述处理室在减压下加热到800～1050℃范围内的温度上。

3.根据权利要求1所述的永磁铁的制造方法，其特征在于：在前述处理室内配 置铁－硼－稀土类系的烧结磁铁以及以Tb为主要组分的金属蒸发材料的情况下，把 前述处理室在减压下加热到900～1050℃范围内的温度上。

4.根据权利要求1所述的永磁铁的制造方法，其特征在于：在前述处理室内配 置铁－硼－稀土类系的烧结磁铁，把该烧结磁铁加热到800～1100℃范围内并保持之 后，把配置在同一或另一处理室内的，至少含Dy、Tb中的一种的金属蒸发材料在800～ 1200℃范围内加热并使之蒸发，把该蒸发的金属原子提供到烧结磁铁表面并使之附 着。

5.根据权利要求1～3任一项所述的永磁铁的制造方法，其特征在于：在把前述 烧结磁铁和金属蒸发材料配置在同一处理室内的情况下，使烧结磁铁及金属蒸发材料 彼此隔一定距离配置。

6.根据权利要求1～3任一项所述的永磁铁的制造方法，其特征在于：把与配置 在前述处理室内的烧结磁铁的表面积的总和所对应的金属材料的表面积的总和的比 率设定在1×10^-4～2×10³范围内。

7.根据权利要求1～3任一项所述的永磁铁的制造方法，其特征在于：通过改变 配置在前述处理室内的前述金属蒸发材料的表面系数，增减一定温度下的蒸发量来调 节前述供给量。

8.根据权利要求1～3任一项所述的永磁铁的制造方法，其特征在于：在把收容 了前述烧结磁铁的处理室加热之前，采用等离子清洁前述烧结磁铁表面。

9.根据权利要求1所述的永磁铁的制造方法，其特征在于：使前述金属原子扩 散到前述烧结磁铁的晶界相中之后，用比前述800～1100℃低的温度实施热处理。

10.根据权利要求1～3任一项所述的永磁铁的制造方法，其特征在于：前述烧 结磁铁具有1μm～5μm或7μm～20μm范围的平均结晶粒径。

11.根据权利要求1～3任一项所述的永磁铁的制造方法，其特征在于：前述烧 结磁铁不含Co。

12.一种永磁铁，其特征在于：具有铁－硼－稀土类系的烧结磁铁，所述铁－硼 －稀土类系的烧结磁铁被配置在处理室内时经过800～1100℃范围内的加热，并且使 至少由含有Dy、Tb中的一种构成的金属蒸发材料蒸发，通过调节该蒸发的金属原子 对烧结磁铁表面的供给量，使该金属原子附着，使该附着的金属原子在烧结磁铁表面 上形成由金属蒸发材料构成的薄膜之前，扩散到烧结磁铁的晶界相中。

13.根据权利要求12所述的永磁铁，其特征在于：前述烧结磁铁具有1μm～5 μm或7μm～20μm范围的平均结晶粒径。

14.根据权利要求12或13所述的永磁铁，其特征在于：前述烧结磁铁不含Co。