[发明专利]形成氧化锌涂覆制品的方法

权利要求书

1.一种在基体上沉积氧化锌涂层的常压化学气相沉积法，该方法包括：

(a)形成包含含锌化合物的第一前体气流；

(b)形成包含水的第二前体气流；

(c)将所述第一前体气流和所述第二前体气流输送至接近待涂覆的玻璃 基体表面的位置；和

(d)将所述第一前体气流和所述第二前体气流混合在一起以形成前体混 合物，并使所述基体的所述表面与所述前体混合物接触，该表面的温度足以驱 动所述含锌化合物和所述水之间的反应；

其中，将所述第一前体气流与所述第二前体气流混合在一起足够短的时间， 以使氧化锌涂层以大于5纳米/秒的沉积速度形成于所述表面上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中将所述玻璃基体加热至≥400℃的温度。

3.根据权利要求2所述的方法，其中将所述玻璃基体加热至500℃至700℃ 之间的温度。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述含锌化合物具有分子式R¹R²Zn 或R¹R²Zn-[R³R⁴N(CHR⁵)_n(CH₂)_m(CHR⁶)_nNR⁷R⁸]，其中R¹、R²、R³、R⁴、R⁷和 R⁸为相同或不同的烷基或芳基，且包括一个或多个含氟取代基，R⁵和R⁶为H， 或相同或不同的烷基或芳基且包括一个或多个含氟取代基，n为0或1，且如果 n为0，则m为1-6，且如果n为1，则m为0-6。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述含锌化合物和水的混合时间＜1 秒。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述含锌化合物和水的混合时间＜0.5 秒。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述含锌化合物和水的混合时间为70 毫秒至100毫秒之间。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述氧化锌涂层的沉积速度大于20 纳米/秒。

9.根据权利要求1所述的方法，其中含锌化合物包括选自以下的一种： Me₂Zn或Me₂Zn·TMPDA或Me₂Zn·TEEDA或Me₂Zn-TMEDA或Et₂Zn或 Et₂Zn·TEEDA或Et₂Zn-TMPDA或Et₂Zn-TMEDA，其中TMPDA是N，N，N’，N’- 四甲基1，3-丙二胺；TEEDA是N，N，N’，N’-四乙基乙二胺；TMEDA是N，N，N’，N’- 四甲基乙二胺。

10.一种在基体上沉积氧化锌涂层的常压化学气相沉积法，该方法包括：

(a)形成包含含锌化合物的第一前体气流；

(b)形成包含含水氧源的第二前体气流；

(c)将所述第一前体气流和所述第二前体气流输送至接近待涂覆的玻璃 基体表面的位置；和

(d)将所述第一前体气流和所述第二前体气流混合在一起以形成前体混 合物，并使所述基体的所述表面与所述前体混合物接触，该表面的温度足以驱 动所述含锌化合物和所述水之间的反应；

其中，将所述第一前体气流与所述第二前体气流混合在一起足够短的时间， 以使氧化锌涂层以大于5纳米/秒的沉积速度形成于所述表面上。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述含水氧源为含有预定水量的醇。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述醇为2-丁醇，且预定水量在1 摩尔％至10摩尔％之间。