[发明专利]用于位置分辨地确定在物体成像的图像平面中电磁场的相位和幅度的方法和装置

权利要求书

1.用于位置分辨地确定在物体成像的图像平面中电磁场的相位和 幅度的方法，其中

-生成图像，其方式是

a.该物体利用照明装置的相干的光线被照射，并在图像平面中被成 像，

b.光线在该图像平面中位置分辨地按像素被探测，

c.其中针对每个像素确定光线的强度，将其按图像点存储，并且把 这些图像点分配给图像，

-首先生成一个第一图像，以及然后生成至少另一图像，其中该光 线的相位和/或幅度以预给定的方式被改变，并且所述改变对于每个图像 都与对于其余图像的改变不相同，以及

-由所生成的图像来位置分辨地确定在该图像平面中物体成像的相 位，

-其特征在于，

-光线的相位和/或幅度在物体与图像平面之间的瞳孔平面中通过 位置频率过滤而被改变。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述位置频率过滤 通过引入至少一个位置频率过滤器来进行。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，用于改变相位和/或 幅度的所述至少一个位置频率过滤器在光路中围绕光轴和/或围绕垂直 于该光轴的、与该光轴相交的一个旋转轴线被旋转，和/或垂直于该光轴 被移动。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，使用单透镜、 微透镜阵列、西门子星、螺旋过滤器、透射光栅或者相位光栅作为至少 一个位置频率过滤器。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，非周期性地和/或统 计地来选择透镜在该微透镜阵列上的位置。

6.根据权利要求2至5之一所述的方法，其特征在于，在位置分 辨地确定相位之前，对该位置频率过滤器进行校准。

7.根据权利要求1至6之一所述的方法，其特征在于，在所述生 成之后对每个图像的图像点应用强度加权函数，该强度加权函数改变强 度值，使得在该图像周期性延伸的情况下在图像中的强度的曲线对应于 连续的、优选为连续可微分的函数。

8.根据权利要求1至7之一所述的方法，其特征在于，在所述生 成之后对每个图像的图像点

-应用至频率空间的变换，以及

-对被变换到频率空间的图像点应用瞳孔加权函数，其中该瞳孔加 权函数在瞳孔的边缘向外连续地、优选为连续可微分地下降到零。

9.根据权利要求1至6之一所述的方法，其特征在于，在该光路 中将明场光阑引入到该照明装置的物体平面中。

10.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，生成其他的 图像，其中附加地改变光线到该物体的入射角。

11.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，生成其他的 图像，其中该物体利用预给定偏振的光线被照射，并且该光线与偏振相 关地被探测。

12.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，该光线的相 位和/或幅度附加地还通过散焦被改变。

13.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在位置分辨 地确定相位之前，在单色像差方面进行校准。

14.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在生成图像 之前，进行用于补偿随机的散焦的校准。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，在生成每个图像 之前实施所述的校准。