[发明专利]磁性检测装置有效
申请号: | 200780032229.1 | 申请日: | 2007-02-07 |
公开(公告)号: | CN101512369A | 公开(公告)日: | 2009-08-19 |
发明(设计)人: | 佐佐木义人;菊入胜也;佐藤清 | 申请(专利权)人: | 阿尔卑斯电气株式会社 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;H01L43/08 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 刘 建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁性 检测 装置 | ||
1.一种磁性检测装置,其特征在于,
具有并联连接第1串联电路和第2串联电路而构成的桥式电路,
在构成上述第1串联电路的多个电阻元件的至少任意一个中包含磁阻 效应元件,该磁阻效应元件利用了电阻相对于外部磁场发生变化的磁阻效 应,
构成上述第2串联电路的多个电阻元件由相对于外部磁场电阻不变化 的固定电阻元件构成,
构成上述第2串联电路的上述固定电阻元件的元件电阻大于构成上述 第1串联电路的上述电阻元件的元件电阻,
所述磁性检测装置还具有第3串联电路,
在上述第1串联电路中设置的上述磁阻效应元件是利用了电阻根据某 一个方向的外部磁场的磁场强度变化而发生变化的磁阻效应的元件,
在构成上述第3串联电路的多个电阻元件的至少任意一个中包含磁阻 效应元件,该磁阻效应元件的电阻相对于与上述一个方向相反的相反方向 的外部磁场发生变化,
并联连接上述第1串联电路和上述第2串联电路,构成上述一个方向的 外部磁场检测用的第1桥式电路,并且并联连接上述第2串联电路和上述第 3串联电路,构成上述相反方向的外部磁场检测用的第2桥式电路。
2.根据权利要求1所述的磁性检测装置,其特征在于,
构成上述第3串联电路的多个电阻元件全部由相同的材料层形成。
3.根据权利要求1所述的磁性检测装置,其特征在于,
在基板上具有传感器部和集成电路,该传感器部具有上述第1串联电 路和上述第3串联电路,该集成电路与上述传感器部连接并输出磁场检测 信号,
上述第2串联电路被装入上述集成电路内。
4.根据权利要求3所述的磁性检测装置,其特征在于,
在上述基板上形成上述集成电路,在上述集成电路上经由绝缘层形成 上述传感器部。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的磁性检测装置,其特征在于,
构成上述第1串联电路的多个电阻元件全部由相同的材料层形成。
6.根据权利要求1至4中任意一项所述的磁性检测装置,其特征在于,
构成上述第2串联电路的多个固定电阻元件全部由相同的材料层形 成。
7.根据权利要求6所述的磁性检测装置,其特征在于,
上述固定电阻元件由硅(Si)形成。
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