[发明专利]酰亚胺络合物、其制造方法、含金属薄膜及其制造方法

权利要求书

1.一种酰亚胺络合物，其特征在于，其由通式(1)所示：

M¹(NR¹)(OR²)₃                      (1)

式中，M¹表示铌原子或钽原子，R¹表示碳数1～12的烷基， R²表示碳数2～13的烷基。

2.根据权利要求1所述的酰亚胺络合物，其特征在于，R¹表示碳数1～10的烷基，R²为异丙基或叔丁基。

3.根据权利要求1或2所述的酰亚胺络合物，其特征在于， M¹为铌原子，R¹为丙基、异丙基或叔丁基，R²为叔丁基。

4.根据权利要求1或2所述的酰亚胺络合物，其特征在于， M¹为钽原子，R¹为异丙基或叔丁基，R²为叔丁基。

5.一种通式(1)所示的酰亚胺络合物的制造方法，其特 征在于，使通式(2)所示的化合物与通式(3)所示的碱金属 醇盐反应，

M¹(NR¹)(OR²)₃                 (1)

式中，M¹表示铌原子或钽原子，R¹表示碳数1～12的烷基， R²表示碳数2～13的烷基，

M¹(NR¹)X₃(L)_r                (2)

式中，M¹表示铌原子或钽原子，R¹表示碳数1～12的烷基， X表示卤原子，L表示1，2-二甲氧基乙烷配体或吡啶配体，L为 1，2-二甲氧基乙烷配体时，r为1；L为吡啶配体时，r为2，

R²OM²                   (3)

式中，R²表示碳数2～13的烷基，M²表示碱金属。

6.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于，X为氯 原子，M²为锂原子、钠原子或钾原子。

7.一种通式(1)所示的酰亚胺络合物的制造方法，其特 征在于，使通式(4)所示的化合物与通式(5)所示的醇反应，

M¹(NR¹)(OR²)₃                (1)

式中，M¹表示铌原子或钽原子，R¹表示碳数1～12的烷基， R²表示碳数2～13的烷基，

M¹(NR¹)(NR³R⁴)₃              (4)

式中，M¹表示铌原子或钽原子，R¹表示碳数1～12的烷基， R³和R⁴各自独立地表示甲基或乙基，

R²OH                         (5)

式中，R²表示碳数2～13的烷基。