[发明专利]用于加工用于控制流体流的部件的方法以及按该方法加工的部件

权利要求书

1.一种用于加工控制流体流的微机械结构部件(1)的方法，包 括下列步骤：

-在载体层(2)的表面(2a)上通过构成位于薄膜下面的、从相同 表面侧开始的空穴(3，3a)来加工可振动薄膜(4，4a)，

-通过中间层(6)覆盖所述载体层(2)，

-形成所述中间层(6)的结构，且

-通过封闭所述微机械结构部件(1)的盖层(11)来覆盖所述中 间层(6)，

其特征在于，这样形成所述中间层(16)的结构，使得在所述薄 膜(4，4a)上产生流体阀(14，17)的密封部件(8，18)，其封闭和/或包围在 所述盖层(11)中形成的阀孔(12，22)。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，这样形成所述中 间层(6)的结构，即，使得围绕所述密封部件(8，18)而形成空腔 (15，21)。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在形成所述 中间层(6)的结构时，产生穿过所述薄膜(4，4a)到位于其下的空穴 (3，3a)的导流通孔(9，20)。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，第一通孔(9)在第 一薄膜(4)中这样构造，即，它使位于所述薄膜(4)下面的空穴(3)与 包围所述密封部件(8)的空腔(15)连接。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，第二通孔(20)在第 二薄膜(4a)中这样构造，即，它使位于所述薄膜(4a)下面的空穴(3a) 与阀孔(22)连接。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述盖层(11) 与流体阀(14，17)的密封部件(8，18)之间的密封区域(16，16a)中，涂覆 防粘附层(13，23)。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述盖层(11) 由玻璃和/或硅形成，所述防粘附层基于玻璃和/或硅涂覆。

8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，由硅组成所述防 粘附层。

9.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述防粘附层是 氮化硅。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在加工第一可振 动薄膜(4)时，在所述载体层(2)的表面(2a)上通过构成位于薄膜下面 的空穴(3a)产生至少另一可振动薄膜(4a)。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，在构造所述中 间层(6)和/或所述载体层(2)时，在围绕第一密封部件(8)构成的第一 空腔(15)与围绕另一密封部件(18)构成的另一空腔(21)之间产生导 流连接部(24)。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，邻接导流连接 部(24)和/或两个空腔(15，21)之一而构成第三可振动薄膜(27，31)。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，对于由所述第 三可振动薄膜(27)封闭的空穴(25)，形成独立的流体接头(26)。

14.如权利要求12所述的方法，其特征在于，在所述第三可 振动薄膜(31)上施加这样的部件(33)，该部件(33)在操纵中在该薄膜 (31)上施加压作用和/或拉作用。

15.如权利要求6所述的方法，其特征在于，共同形成阀门 (14，17)的部件、薄膜(4，4a)、密封部件(8，18)、防粘附层(16，16a)和盖 层(11)构造成，在所述微机械结构部件(1)的组装状态使所述密封部 件(8，18)在预应力下密封阀孔(12，22)。