[发明专利]表面感测设备

权利要求书

1.一种用于测量工件表面的装置，包括：

支撑件；

将所述支撑件连接到机器的可移动臂上的连接装置；

感测工件表面的表面感测设备，

所述支撑件具有第一构件和第二构件，第一构件被第一马达促动可以围 绕第一旋转轴线相对于所述连接装置旋转，第二构件被第二马达促动可以围 绕第二旋转轴线相对于所述第一构件旋转，其中所述第二旋转轴线横穿所述 第一旋转轴线，且所述表面感测设备可以连接到所述第二构件从而与其一起 旋转；

允许所述表面感测设备围绕第三旋转轴线相对于所述支撑件旋转的旋 转装置，其中所述第三旋转轴线与所述第一旋转轴线对准；

其特征在于，在所述第一旋转轴线与所述第三旋转轴线对准时，可由所 述第一马达来促动所述支撑件相对于所述表面感测设备的旋转，设置保持装 置，用来在所述支撑件相对于所述表面感测设备旋转时保持所述表面感测设 备静止。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述保持装置包括保持件， 所述保持件用来在所述支撑件相对于所述表面感测设备旋转时保持所述表 面感测设备静止。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述保持装置包括销和凹 部之一，所述销和凹部之一与设置在所述表面感测设备上的销和凹部中的另 一个接合。

4.如前述权利要求任一项所述的装置，其特征在于，所述支撑件的所 述第一旋转轴线和第二旋转轴线正交。

5.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述表面感测设 备的所述第三旋转轴线与所述支撑件的所述第二旋转轴线相交。

6.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述表面感测设 备的所述第三旋转轴线是所述表面感测设备的纵向的轴线。

7.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述表面感测设 备在横穿或偏离所述第三旋转轴线的方向上感测表面。

8.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述表面感测设 备是接触式探头。

9.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述表面感测设 备是非接触式探头。

10.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述表面感测 设备包括探头主体、触针和触针末梢。

11.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述表面感测 设备包括表面抛光探头。

12.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述旋转装置 允许所述表面感测设备旋转至多360度。

13.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述旋转装置 允许所述表面感测设备旋转大于360度。

14.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述旋转装置 允许所述表面感测设备连续旋转。

15.如权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述旋转装置 额外可以手工促动。

16.一种使用测量工件表面的装置的方法，所述装置包括：支撑件；将 所述支撑件连接到机器的可移动臂上的连接装置；感测工件表面的表面感测 设备，所述支撑件具有第一构件和第二构件，第一构件被第一马达促动可以 围绕第一旋转轴线相对于所述连接装置旋转，第二构件被第二马达促动可以 围绕第二旋转轴线相对于所述第一构件旋转，其中所述第二旋转轴线横穿所 述第一旋转轴线，且所述表面感测设备可以连接到所述第二构件从而与其一 起旋转；允许所述表面感测设备围绕第三旋转轴线相对于所述支撑件旋转的 旋转装置，其中所述第三旋转轴线可与所述第一旋转轴线对准，其特征在于， 所述方法包括以下步骤：

将所述第一旋转轴线和第三旋转轴线对准；

保持所述表面感测设备静止；和

激活所述第一马达从而促动所述支撑件相对于所述表面感测设备旋转。