[发明专利]薄膜形成方法及薄膜形成装置

权利要求书

1.一种薄膜形成方法，其在与配置在真空容器内的被处理基板相向的位置上并联设置了多个电极对，通过与各对电极连接的交流电源，以规定的频率交替改变极性，输出交流电压，使构成各对电极的两个电极交替切换为阳极电极和阴极电极，使该阳极电极及阴极电极间产生辉光放电形成等离子气氛，通过使各电极对产生溅射，在上述被处理基板上形成薄膜，其特征在于：

比较上述并联设置的电极对中，与不同的交流电源连接的彼此相邻的电极间的上述输出，当输出电位差超过规定值的情况下，通过调整上述交流电源的输出，使输出电位差收敛到上述规定值以下。

2.根据权利要求1所述的薄膜形成方法，其特征在于：上述输出调整通过将上述彼此相邻的电极间的输出相位偏转180度，使极性反转来收敛上述输出电位差。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜形成方法，其特征在于：上述输出调整以任意一个交流电源为起点，从与构成该起点的交流电源连接的电极对起，向并联设置方向的外侧依次调整上述各交流电源的输出。

4.根据权利要求3所述的薄膜形成方法，其特征在于：调整与构成上述起点的交流电源相邻的交流电源的输出，然后把调整后的交流电源作为另一起点，依次向并联设置方向外侧调整相邻的各交流电源的输出。

5.根据权利要求1所述的薄膜形成方法，其特征在于：上述输出调整通过生成控制交流电源输出的信号，把该信号发送给调整输出的交流电源进行。

6.根据权利要求5所述的薄膜形成方法，其特征在于：上述信号在任意一个交流电源中生成，由该交流电源发送给调整输出的交流电源。

7.根据权利要求1所述的薄膜形成方法，其特征在于：当上述任意一对电极产生电弧放电的情况下，在切断对该产生电弧放电电极的输出的同时，也切断对未产生电弧放电的其它电极对的输出。

8.一种薄膜形成装置，其在与配置在真空容器内的被处理基板相向的位置上并联设置了多个电极对，配置了与各电极对分别连接的交流电源；其特征在于：该薄膜形成装置具有调整处理手段，其比较上述并联设置的电极对中，与不同的交流电源连接的彼此相邻的电极间的输出，当输出电位差超过规定值的情况下，通过调整上述交流电源的输出使输出电位差收敛到上述规定值以下。

9.根据权利要求8所述的薄膜形成装置，其特征在于：上述调整处理手段具有生成控制交流电源输出的信号的信号生成手段，以及把该信号发送给调整输出的交流电源的发送手段。

10.根据权利要求8或9所述的薄膜形成装置，其特征在于：为进行上述调整处理，以任意一个交流电源为起点，该构成起点的交流电源具有上述调整处理手段。

11.根据权利要求8或9所述的薄膜形成装置，其特征在于：其设置了具有上述调整处理手段的控制装置。

12.根据权利要求8所述的薄膜形成装置，其特征在于：上述各交流电源具有：电弧探测手段，其可在连接的电极对产生电弧放电的情况下，探测出该电弧放电；输出控制手段，其控制各交流电源的输出，在该电弧探测手段探测到电弧放电时切断对该电极对的输出的同时，也切断对其它电极对的输出。