[发明专利]具有输送带电极的EUV等离子体放电灯

权利要求书

1.用于通过电操作放电产生EUV辐射和/或软X射线的等离子体放电灯，包括：

-至少两个电极，所述电极设置在放电空间中，彼此相距一定距离，以便形成允许所述电极之间的气体介质中的等离子体(14)的点火的间隙，

-金属施加设备，其将金属施加到所述电极的表面，

-所述电极由被驱动来将所述金属运送到所述间隙的输送带(15)形成，

-其中对于这些电极中的每一个，在所述间隙处提供在其上移动输送带(15)的整形器元件(13)以确保在该间隙处所述电极具有适当的形状和距离，以及

-能量束设备(4)，其适于将能量束引导到所述间隙中的所述表面中的至少一个上，至少部分地蒸发所述施加的金属，从而产生所述气体介质。

2.依照权利要求1的等离子体放电灯，

其中所述金属施加设备包括两个具有金属熔化物的容器(19)，并且每个所述电极浸入到所述容器(19)之一中以便将该金属熔化物施加到所述电极的表面上。

3.依照权利要求2的等离子体放电灯，

其中所述电极通过容器(19)中的所述金属熔化物电气连接到电源(5)。

4.依照权利要求1或2的等离子体放电灯，

其中所述电极通过整形器元件(13)电气连接到电源(5)。

5.依照权利要求1或2的等离子体放电灯，

其中形成整形器元件(13)以便在所述间隙处提供弯曲的表面。

6.依照权利要求5的等离子体放电灯，

其中所述整形器元件具有圆片段的轮廓。

7.依照权利要求2的等离子体放电灯，

其中容器(19)外部用于输送带(15)的偏转元件(18)设有覆盖物(17)以便避免偏转期间所述金属熔化物的剥离。

8.依照权利要求2的等离子体放电灯， 

其中引导输送带(15)在若干次转动中通过容器(19)中的所述金属熔化物。

9.依照权利要求2的等离子体放电灯，

其中分开容器(19)以便允许所述等离子体产生的EUV辐射和/或软X射线在容器(19)之间通过。

10.依照权利要求9的等离子体放电灯，

其中所述电极通过整形器元件(13)电气连接到电源(5)。

11.依照权利要求2的等离子体放电灯，

其中输送带(15)的运动平面相对于所述容器(19)的截平面倾斜，以便允许所述等离子体产生的EUV辐射和/或软X射线在所述容器(19)旁边通过。

12.依照权利要求2的等离子体放电灯，

其中提供成对的冷却辊(20)以便将通过所述成对的辊(20)到达所述间隙的输送带(15)上的所述金属熔化物冷却到该金属熔化物的熔点以下的温度。

13.依照权利要求12的等离子体放电灯，

其中整形器元件(13)是旋转辊。

14.依照权利要求1或2的等离子体放电灯，

其中输送带(15)是闭合的带。

15.依照权利要求1或2的等离子体放电灯，

其中输送带(15)是非闭合的带，其每一个在两个缠绕托辊(21)之间来回移动。