[发明专利]用于控制电容性湿度传感器的灵敏度和值的方法和装置

权利要求书

1.一种用于形成电容性湿度传感器的方法，包括：

提供衬底；

在所述衬底上沉积二氧化硅层；

在所述二氧化硅层上沉积氮化层；以及

在所述氮化层上形成TiW层；

在所述TiW层上形成湿度感测介质；以及

在所述湿度感测介质上形成多孔铂层；

其中，所述TiW层、所述湿度感测介质和所述多孔铂层形成位 于所述氮化层上的第一与第二串联活性湿度电容器，并且其中，提供 所述衬底包括提供在所述衬底上形成的多个寄生元件，被配置为控制 与所述湿度传感器相关联的灵敏度和总电容值。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述衬底包括硅衬底。

3.权利要求1的方法，其中，所述衬底设置多个电阻器。

4.权利要求1的方法，其中，在所述衬底上形成多个寄生元件 不增加所述湿度传感器的大小。

5.权利要求1的方法，其中，提供多个寄生元件包括在所述衬 底上提供多个电容器。

6.一种湿度传感器装置，包括：

衬底；

二氧化硅层；

氮化层；

在所述衬底上形成的多个寄生元件；以及

第一与第二串联活性湿度电容器，其中，所述第一与第二串联活 性湿度电容器均包括：

在所述氮化层上形成的TiW层；

多孔铂层；以及

位于所述TiW层和所述多孔铂层之间的湿度感测介质；以及

其中，所述多个寄生元件控制与所述湿度传感器相关联的灵 敏度和总电容值。

7.权利要求6的装置，其中

所述二氧化硅层形成在所述衬底上；

所述衬底包括硅衬底；

所述氮化层位于所述二氧化硅层之上；以及

所述多个寄生元件形成在所述硅衬底和所述TiW层之间。

8.权利要求6的装置，其中，在所述衬底设置多个电阻器。

9.权利要求6的装置，其中，在所述衬底上形成的所述多个寄 生元件包括多个电容器。

10.权利要求6的装置，其中，在所述衬底上形成的所述多个寄 生元件不增加所述湿度传感器的大小。