[发明专利]微致动器和锁定开关

权利要求书

1.一种包括第一微机电致动器的装置，其包括：至少部分地由 金属制成的第一热臂；和具有柔性部分的第一冷臂，所述柔性部分由 硅制成，所述第一冷臂联接至所述第一热臂。

2.根据权利要求1所限定的发明，其特征在于，所述第一冷臂 联接至所述第一热臂，使得当所述热臂受热且改变其形状时所述冷臂 自其静止位置位移。

3.根据权利要求2所限定的发明，其特征在于，所述冷臂在所 述冷臂的一端处联接至衬底，并且所述冷臂在所述冷臂的另一端处联 接至所述热臂。

4.根据权利要求1所限定的发明，其特征在于，所述致动器还 包括适于与所述冷臂一致地移动、且当自其静止位置移动时基本不提 供回复力的金属线路。

5.根据权利要求4所限定的发明，其特征在于，所述致动器是 开关的一部分，且所述金属线路适于携带有待由所述开关切换的信 号。

6.根据权利要求4所限定的发明，其特征在于，所述金属线路 至少部分地安装在所述冷臂上。

7.根据权利要求6所限定的发明，其特征在于，所述金属线路 不是安装在所述冷臂的所述柔性部分上。

8.根据权利要求1所限定的发明，其特征在于，所述第一冷臂 联接至所述第一热臂，使得当所述热臂受热且改变其形状时，所述冷 臂自其静止位置位移。

9.根据权利要求1所限定的发明，其特征在于，所述第一致动 器还包括联接至所述第一冷臂的第一金属线路，并且，其中，所述装 置是开关的一部分，所述开关还包括：

第二微机电致动器，其包括：

至少部分地由金属制成的第二热臂；

具有柔性部分的第二冷臂，所述柔性部分由硅制成，所述第 二冷臂联接至所述第二热臂；和

联接至所述第二冷臂的第二金属线路；

所述第一微机电致动器和所述第二微机电致动器设置成使 得所述第一金属线路和所述第二金属线路可以保持在它们处于电接 触的至少一个位置，且可保持在它们未处于电接触的另一位置。

10.根据权利要求9所限定的发明，其特征在于，所述第一致动 器和所述第二致动器制造于第一芯片上，且所述装置还包括：

以倒装芯片的方式安装到所述第一芯片上的第二芯片，所述第二 芯片包括(i)多根控制线路，所述线路中的各线路设置成以便为用于加 热所述第一热臂和所述第二热臂中相应的一个热臂的电流提供导电 路径，和(ii)多根信号线路，其分别联接至至少(i)所述第一热臂和所述 第二热臂，和(ii)所述第一芯片上的所述第一线路和所述第二线路，其 中，所述多根信号线路中的所述各线路设置成以便为在所述第一芯片 上由所述开关可控制地切换的信号提供导电路径。

11.根据权利要求10所限定的发明，其特征在于，所述信号线 路中的各线路联接至所述第一芯片上的所述第一金属线路和所述第 二金属线路中的相应的一个线路。

12.一种用于在第一芯片上形成第一微机电致动器的方法，其包 括如下步骤：

由硅形成冷臂柔性部分；

形成至少部分地由金属制成的热臂；且

将所述冷臂部分联接至所述热臂。