[发明专利]突起高度的测量方法以及突起高度的测量装置和程序有效
申请号: | 200780033896.1 | 申请日: | 2007-09-07 |
公开(公告)号: | CN101517354A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 林谦太 | 申请(专利权)人: | 大日本印刷株式会社 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 岳雪兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 突起 高度 测量方法 以及 测量 装置 程序 | ||
1.一种突起高度的测量方法,用于测量形成在工件表面上的圆锥形状突起的高度,其特征在于,包括如下工序:
摄像工序,从仰角方向拍摄包含作为测量对象的所述突起的所述工件表面上的区域;
突起区域抽取工序,基于通过所述摄像工序拍摄的图像中的亮度值,通过将所述图像中的区域分为亮部区域、暗部区域以及中间部区域,并将所述亮部区域、所述暗部区域和所述中间部区域中,由所述亮部区域和所述暗部区域构成的区域作为对应于所述突起的突起区域,将由所述中间部区域构成的区域作为对应于所述工件的工件区域,从而从所述图像中抽取出所述突起区域;
直径母线测量工序,对与通过所述突起区域抽取工序抽取出的所述突起区域的底面直径部分相对应的直径对应部的长度,和与所述突起区域的母线部分相对应的母线对应部的长度进行测量;
存储工序,预先存储所述直径对应部的规定值;
判断工序,对通过所述直径母线测量工序所测量出的直径对应部的长度相对于所述存储的直径对应部的规定值,是否在预先设定的范围内进行判断;
确定工序,当通过所述判断工序判断出所述测量出的直径对应部的长度不在所述预先设定的范围内时,则将所述存储的直径对应部的规定值确定为用于计算所述突起高度时的运算值;
高度运算工序,基于通过所述确定工序确定的运算值、所述母线对应部的长度和所述仰角来计算所述突起的高度。
2.如权利要求1所述的突起高度的测量方法,其特征在于,所述确定工序中,当通过所述判断工序判断出所述测量出的直径对应部的长度在所述预先设定的范围内时,则将所述测量出的直径对应部的长度确定为用于计算所述突起高度时的运算值。
3.一种突起高度的测量装置,用于测量形成在工件表面上的圆锥形状突起的高度,其特征在于,包括如下单元:
摄像单元,从仰角方向拍摄包含作为测量对象的所述突起的所述工件表面上的区域;
突起区域抽取单元,基于通过所述摄像单元拍摄的图像中的亮度值,通过将所述图像中的区域分为亮部区域、暗部区域以及中间部区域,并将所述亮部区域、所述暗部区域和所述中间部区域中,由所述亮部区域和所述暗部区域构成的区域作为对应于所述突起的突起区域,将由所述中间部区域构成的区域作为对应于所述工件的工件区域,从而从所述图像中抽取出所述突起区域;
直径母线测量单元,对与通过所述突起区域抽取单元抽取出的所述突起区域的底面直径部分相对应的直径对应部的长度,和与所述突起区域的母线部分相对应的母线对应部的长度进行测量;
存储单元,预先存储所述直径对应部的规定值;
判断单元,对通过所述直径母线测量单元所测量出的直径对应部的长度相对于存储在所述存储单元中的直径对应部的规定值,是否在预先设定的范围内进行判断;
确定单元,当通过所述判断单元判断出所述测量出的直径对应部的长度不在所述预先设定的范围内时,则将存储在所述存储单元中的直径对应部的规定值确定为用于计算所述突起高度时的运算值;
高度运算单元,基于通过所述确定单元确定的运算值、所述母线对应部的长度和所述仰角来计算所述突起的高度。
4.如权利要求3所述的突起高度的测量装置,其特征在于,所述确定单元中,当通过所述判断单元判断出所述测量出的直径对应部的长度在所述预先设定的范围内时,则将所述测量出的直径对应部的长度确定为用于计算所述突起高度时的运算值。
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