[发明专利]图案尺寸测定装置和图案面积测定方法

权利要求书

1.一种图案尺寸测定装置，其特征在于，该图案尺寸测定装置具有：

一边在试件上扫描一边照射电子束的单元；

通过所述电子束的照射，根据从形成有图案的所述试件上发生的电子的电子量，取得该图案的图像数据的单元；以及

将所述图案分割成多个部分图案，计算各部分图案的面积，合计该各部分图案的面积，计算所述图案的面积的面积测定单元。

2.根据权利要求1所述的图案尺寸测定装置，其特征在于，

该图案尺寸测定装置还具有：

线性轮廓曲线生成单元，其根据所述图像数据，生成表示规定线上的亮度信号的线性轮廓曲线；以及

微分轮廓曲线生成单元，其对所述线性轮廓曲线进行微分，生成微分轮廓曲线，

所述面积测定单元将所述图案分割成具有规定值的中心角的扇形的部分图案，按照所述各部分图案，根据与所述图案的中心和图案的边缘相交的线上的线性轮廓曲线和微分轮廓曲线检测边缘位置，根据所述中心位置和边缘位置计算半径，计算所述各部分图案的面积，合计该各部分图案的面积，计算所述图案的面积。

3.根据权利要求2所述的图案尺寸测定装置，其特征在于，

所述线性轮廓曲线生成单元对规定个数的像素数据进行加法平均，生成所述线上的线性轮廓曲线。

4.根据权利要求2所述的图案尺寸测定装置，其特征在于，

所述图案的中心根据所述图案的X方向的宽度和所述图案的Y方向的宽度进行计算。

5.根据权利要求1所述的图案尺寸测定装置，其特征在于，

该图案尺寸测定装置还具有：

线性轮廓曲线生成单元，其根据所述图像数据，生成表示规定线上的亮度信号的线性轮廓曲线；以及

微分轮廓曲线生成单元，其对所述线性轮廓曲线进行微分，生成微分轮廓曲线，

所述面积测定单元当所述图案是由相对的第1和第2边缘包围的矩形图案时，将所述矩形图案分割成按规定长度划分第1相对边缘而成的部分矩形图案，按照所述各部分矩形图案，根据与第2相对边缘平行且与第1相对边缘相交的线上的线性轮廓曲线和微分轮廓曲线，计算第1相对边缘间的距离，将所述规定长度和该距离相乘，计算该部分矩形图案的面积，合计该各部分矩形图案的面积，计算所述矩形图案的面积。

6.根据权利要求5所述的图案尺寸测定装置，其特征在于，

所述线性轮廓曲线生成单元对与所述规定长度对应的规定个数的像素数据进行加法平均，生成所述线上的线性轮廓曲线。

7.根据权利要求1所述的图案尺寸测定装置，其特征在于，

所述面积测定单元按照规定的间隔检测所述图案周围的边缘位置，从由检测出的相邻2点的边缘位置决定、且包含分割所述图案而成的部分图案在内的梯形形状的区域的面积的总计中，减去由检测出的连续2点的边缘位置决定、且所述部分图案以外的梯形形状的区域的面积的总计，计算所述图案的面积。

8.根据权利要求7所述的图案尺寸测定装置，其特征在于，

该图案尺寸测定装置还具有：

线性轮廓曲线生成单元，其根据所述图像数据，生成表示规定线上的亮度信号的线性轮廓曲线；以及

微分轮廓曲线生成单元，其对所述线性轮廓曲线进行微分，生成微分轮廓曲线，

所述面积测定单元检测所述图案的边缘位置作为起点边缘位置，根据该起点边缘位置检测规定距离的边缘位置作为虚拟边缘位置，根据通过连接所述起点边缘位置和虚拟边缘位置的线段的中点且与该线段成直角的线上的线性轮廓曲线和微分轮廓曲线，检测边缘位置，将该边缘位置重新作为起点边缘位置，通过检测与该边缘位置相邻的新的边缘位置，按照规定的间隔检测所述图案周围的边缘位置。

9.根据权利要求8所述的图案尺寸测定装置，其特征在于，

所述线性轮廓曲线生成单元对规定个数的像素数据进行加法平均，生成所述线上的线性轮廓曲线。