[发明专利]等离子体反应器

权利要求书

1.一种等离子体反应器，包括：

叠层(104)，通过连序地堆叠正电极(101)和负电极(102)以及隔 离物(103)而构成，间隔物(103)位于正电极(101)与负电极(102) 之间；以及

反应器体(105)，设置在叠层(104)的一侧上，用于固定叠层(104)，

其中，利用隔离物(103)交替地布置正电极(101)和负电极(102) 以限定允许通过气体的通道(106)，

正电极(101)和负电极(102)中的每个均具有变形防止装置(107)， 用于分散正电极(101)和负电极(102)的应力以防止通过热膨胀和收缩 导致的局部热应力，由此增大抗热冲击性能；变形防止装置(107)包括 形成在正电极(101)和负电极(102)的边缘部分上裂缝或弧，或形成在 正电极(101)和负电极(102)内部上的孔；

连接到正电极(101)和负电极(102)的外部端子(108，109)设置 在反应器体(105)上，并且

凸起(110)在垂直于叠层(104)的堆叠方向的方向上形成于反应器 体(105)的表面上从而使得等离子体反应器(100)容易地固定到壳。

2.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中，正电极(101)和负 电极(102)中的每个均包括导电电极，所述导电电极与极性相反的相邻 正电极(101)和负电极(102)绝缘；并且正电极(101)和负电极(102) 中的每个均包括垂直连接电极(111)，所述垂直连接电极(111)将正电 极(101)和负电极(102)中的每个连接到极性相同的相邻正电极(101) 和负电极(102)。

3.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中，正电极(101)经由 垂直连接电极(111)彼此连接，并且负电极(102)经由垂直连接电极(111) 彼此连接，并且正电极和负电极然后连接到设置在反应器体(105)的表 面上用于固定叠层(104)的外部端子(108，109)，并且

其中，外部端子(108，109)连接到脉冲或者AC电源从而可以在包 括在极性相反的相对的正电极(101)和负电极(102)中的导电电极部分 产生等离子体。

4.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中，正电极(101)和负 电极(102)的每个包括：

主电极部分(115)，对应于产生等离子体的区域，形成于对应的整个 正电极(101)或负电极(102)上；

两个垂直连接电极(111)，设置在正电极(101)或负电极(102)的 叠层部分上；以及

水平连接电极(116)，将主电极部分(115)连接到两个垂直连接电极 (111)之一。

5.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中，每个均包括主电极部 分(115)和垂直连接电极(111)的正电极(101)和负电极(102)通过 制备包括主电极部分(115)的未烘烧生片并且在所述未烘烧生片上涂覆 导电金属层并且制备包括垂直连接电极(111)的另一个生片并且在所述 生片上涂覆导电金属层并且然后将这两个生片进行叠压或者共同烘烧构 成。

6.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中，每个隔离物(103) 的形状与正电极(101)和负电极(102)的每个的叠层部分的形状相同从 而隔离物(103)以及正电极(101)和负电极(102)接合在一起以形成 叠层(104)，并且两个相反极性的垂直连接电极(111)和对应于除了垂 直连接电极(111)以外的区域的接合表面(119)形成于每个隔离物(103) 的两个表面上，这两个表面接合到正电极(101)和负电极(102)。

7.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中，变形防止装置(107) 是形成于正电极(101)和负电极(102)的边缘部分上的裂缝(122)或 弧(123)。

8.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中，变形防止装置(107) 是形成于正电极(101)和负电极(102)的内部上的孔(124)。