[发明专利]切断方法

权利要求书

1.一种切断方法，是将钢线卷绕于多个附凹沟滚筒，一边供给切断用浆液至该附凹沟滚筒，一边使上述钢线行进地压抵晶棒，将上述晶棒切断成晶片状的方法，其特征在于：

仅从上述晶棒的切入深度至少达直径的2/3开始至切断结束为止之间，将晶棒调温用浆液，与上述切断用浆液互相独立且控制供给温度地供给至该晶棒，由此控制切入深度为直径的2/3以上时的晶棒的冷却速度来进行切断，此时，上述晶棒调温用浆液，是以上述切入深度至少达直径的2/3时的晶棒的温度，开始供给，之后，使上述晶棒调温用浆液的供给温度渐渐降低，于切断结束时，与上述切断用浆液的供给温度相同。