[发明专利]物质的接合方法、物质接合装置以及接合体及其制造方法

权利要求书

1.一种物质的接合方法，其利用超短脉冲激光束产生非线形吸收现象来接合两个物质，其特征在于，

所述两个物质中位于所述超短脉冲激光束入射侧的第1物质由透明材料形成，

使利用在所述第1物质内的所述超短脉冲激光束的自聚焦效应生成的丝状区域在所述两个物质的接合面处生成来接合所述两个物质。

2.根据权利要求1所述的物质的接合方法，其特征在于，所述第1物质是玻璃或透明的树脂。

3.根据权利要求1或2所述的物质的接合方法，其特征在于，所述两个物质中位于与所述超短脉冲激光束入射侧不同侧的第2物质由与所述第1物质同种类的透明材料形成。

4.根据权利要求1或2所述的物质的接合方法，其特征在于，所述两个物质中位于与所述超短脉冲激光束入射侧不同侧的第2物质是与所述第1物质不同种类的物质。

5.根据权利要求4所述的物质的接合方法，其特征在于，所述第2物质是玻璃、金属、硅、金属或硅的化合物、半导体或半导体化合物、或树脂中的任一个。

6.根据权利要求5所述的物质的接合方法，其特征在于，所述金属是不锈钢、铁、钢、铝或铜中的任一个、或它们中的至少一个的合金。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的物质的接合方法，其特征在于，所述超短脉冲激光束以相对于所述两个物质的接合面倾斜规定角度的状态入射。

8.根据权利要求7所述的物质的接合方法，其特征在于，所述超短脉冲激光束的倾斜方向是与其扫描方向相同或正相反的方向。

9.根据权利要求7所述的物质的接合方法，其特征在于，所述超短脉冲激光束的倾斜方向是与其扫描方向大致垂直的方向。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的物质的接合方法，其特征在于，所述两个物质通过隔开规定间隔地形成的多个岛状接合部来接合。

11.根据权利要求1～9中任一项所述的物质的接合方法，其特征在于，所述两个物质通过隔开规定间隔地形成的具有规定长度的多个丝状接合部来接合。

12.一种物质的接合方法，其利用超短脉冲激光束产生非线形吸收现象来接合两个物质，其特征在于，所述两个物质中位于所述超短脉冲激光束入射侧的第1物质由透明材料形成，

所述两个物质中位于与所述超短脉冲激光束入射侧不同侧的第2物质是反射所述超短脉冲激光束的物质。

13.根据权利要求7所述的物质的接合方法，其特征在于，所述第2物质是金属或金属化合物。

14.根据权利要求12或13所述的物质的接合方法，其特征在于，所述超短脉冲激光束以相对于所述两个物质的接合面倾斜规定角度的状态入射。

15.一种物质接合装置，其特征在于，具有：

照射部件，其照射超短脉冲激光束；

保持部件，其将作为被接合物的两个物质中由透明材料形成的第1物质设置在所述超短脉冲激光束的入射侧，将第2物质设置在第1物质的相反侧，该保持部件以压接状态保持所述两个物质；以及

移动部件，其搭载所述保持部件并使所述两个物质相对于所述超短脉冲激光束的相对位置变更；

所述照射部件以使丝状区域位于包括所述两个物质的接合面的部分处的照射条件照射所述超短脉冲激光束。

16.一种物质接合装置，其特征在于，具有：

照射部件，其照射超短脉冲激光束；

保持部件，其将作为被接合物的两个物质中由透明材料形成的第1物质设置在所述超短脉冲激光束的入射侧，将反射所述超短脉冲激光束的第2物质设置在第1物质的相反侧，该保持部件以压接状态保持所述两个物质；以及

移动部件，其搭载所述保持部件并使所述两个物质相对于所述超短脉冲激光束的相对位置变更。

17.一种接合体，其特征在于，其是使用权利要求1～11中任一项所述的物质的接合方法接合两个物质而制造得到的。

18.根据权利要求17所述的接合体，其特征在于，所述两个物质是在基板内形成有半导体区域的半导体基板和透明的光学元件。