[发明专利]使用超声波的清洗设备

权利要求书

1.一种使用超声波的清洗设备，该设备包括：

管；

壳体，该壳体连接到所述管的端部，并且所述壳体垂直于需要清洗的晶片而设置并与所述晶片保持间隙；以及

振动器，该振动器设置在所述壳体内的面对所述晶片的位置上，并用于产生超声波，所述振动器包括压电装置，该压电装置结合到超声波发射器和扩散层中的任意一个的表面。

2.一种使用超声波的清洗设备，该设备包括：

中空的壳体；

振动器，该振动器连接到所述壳体的面对需要清洗的晶片的位置上，并用于产生超声波，所述振动器包括压电装置，该压电装置结合到超声波发射器和扩散层中的任意一个的表面；以及

等直径的杆，该杆具有连接到所述振动器的表面的端部，所述杆垂直于所述晶片的上表面而设置，以使由所述振动器产生的超声波传播到施加在所述晶片的上表面上的清洗水。

3.根据权利要求2所述的清洗设备，其中，用具有直径减小部分的杆代替所述等直径的杆，所述直径减小部分限定在所述杆的振动器连接端的纵向相对侧，以放大由所述振动器产生的超声波，并使该放大的超声波传播到施加在需要清洗的所述晶片的上表面上的清洗水。

4.根据权利要求1或2所述的清洗设备，其中，当压电装置依靠通过电线接收的电力而收缩和膨胀时，所述振动器产生超声波。

5.根据权利要求1或2所述的清洗设备，其中，所述扩散层和超声波发射器由从石英、蓝宝石、金刚石和玻碳中选择的任意一种材料制成。

6.根据权利要求1或2所述的清洗设备，其中，所述扩散层和超声波发射器由从钛、铝和钢以及涂敷有化学稳定材料的其它金属中选择的任意一种材料制成。

7.根据权利要求6所述的清洗设备，其中，所述化学稳定材料为聚四氟乙烯。

8.根据权利要求1或2所述的清洗设备，其中，所述扩散层和超声波发射器具有圆形或多边形横截面。

9.根据权利要求2或3所述的清洗设备，其中，所述振动器和所述杆相互形成一体。

10.根据权利要求2或3所述的清洗设备，其中，所述振动器和所述杆相互连接，使得所述振动器和所述杆的相互面对的区域相互接触。

11.根据权利要求1或2所述的清洗设备，其中，所述振动器具有圆形或多边形横截面。

12.根据权利要求4所述的清洗设备，其中，所述压电装置具有圆形、三角形或平行四边形形状，并且所述压电装置结合到超声波发射器和扩散层中的任意一个的表面。

13.根据权利要求1或2所述的清洗设备，

其中，所述振动器包括结合到扩散层的表面的压电装置，超声波在所述扩散层中扩散和叠加，以及

其中，所述压电装置包括：压电陶瓷板；多个正极片，该多个正极片垂直地和水平地以预定的间隔相互隔开地设置在所述压电陶瓷板的一个表面上；以及负极，该负极设置在所述压电陶瓷板的另一个表面上，所述压电装置能够减弱超声波的声压中的偏差。

14.根据权利要求13所述的清洗设备，其中，随着所述正极片的宽度减小，超声波形成的扩散角度增大。

15.根据权利要求2或3所述的清洗设备，其中，所述杆由从石英、蓝宝石、金刚石和玻碳中选择的任意一种材料制成。

16.根据权利要求2或3所述的清洗设备，其中，所述杆由从钛、铝和钢以及涂敷有化学稳定材料的其它金属中选择的任意一种材料制成。

17.根据权利要求16所述的清洗设备，其中，所述化学稳定材料为聚四氟乙烯。