[发明专利]感光性树脂组合物有效
申请号: | 200780035467.8 | 申请日: | 2007-11-08 |
公开(公告)号: | CN101517486A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 木下健宏;佐藤光;柳井隆之 | 申请(专利权)人: | 昭和高分子株式会社 |
主分类号: | G03F7/033 | 分类号: | G03F7/033;C08F8/14;C08F290/12;G03F7/004;H01L21/027 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 贾成功 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物。更详细而言,涉及可以适宜地用 于阻焊剂、各种涂料、粘合剂、印刷油墨用粘结剂、彩色滤光片用粘 结剂等的、可以形成耐热性、与基板的密合性、显影特性优异的固化 涂膜的感光性树脂组合物。
背景技术
近年来,从节省资源、节省能量的观点考虑,在印刷、涂料、粘 合剂的领域中广泛使用可以用紫外线或电子射线固化的放射线固化型 树脂。即使在印刷电路板等电子设备领域中为了长期保护搭载零件后 的电路板,使用阻焊剂。作为可用光刻胶法在印刷电路板中使用的材 料,一般为酸侧链型酚醛清漆环氧丙烯酸酯,但由于与铜镀敷的密合 性不充分,在作为多层印刷电路板使用时,存在无法得到导体电路之 间充分的密合强度的问题,此外,挠性也差,因此,存在容易破裂的 问题。
为了解决这些问题,提出了在使用了(甲基)丙烯酸酯共聚物的感 光性树脂组合物中混合无机添加剂的方法(例如专利文献1),但遗留 如下问题,即对于酸侧链型酚醛清漆环氧丙烯酸酯,耐热性差。
在彩色液晶显示装置或固体撮像元件中使用彩色滤光片,这些彩 色滤光片由在基板上以规定的图案着色为红(R)、绿(G)、蓝(B)等颜色 的着色涂膜和它们之间的黑色的黑矩阵(black matrix)构成。通常, 通过在玻璃等透明基板上形成黑矩阵,接着依次形成R、G、B等着色 涂膜图案来制造。
一般而言,彩色滤光片可用染色法、印刷法、颜料分散法或电沉 积法等制造方法制造。其中,尤其是颜料分散法,因耐光性、耐热性 等耐久性优异,针孔等缺陷少,因此目前成为主流,所述颜料分散法 为使用以碱可溶性树脂、反应性单体、光聚合引发剂、颜料及溶剂为 主体的光固化性树脂组合物,在透明基板上进行涂布,用反复进行曝 光、显影、后固化的光刻法制作。
颜料分散法具有上述优点,但另一方面,由于反复形成黑矩阵、R、 G、B等图案,因此,对成为涂膜的粘结剂的碱可溶性树脂要求高的耐 热性、与基板的密合性。
作为提高碱可溶性树脂的耐热性的方法,目前提出了以侧链上具 有环状结构的(甲基)丙烯酸酯为共聚成分的树脂组合物(例如专利文 献2)、以含有马来酰亚胺的单体为共聚成分的树脂组合物(例如专利 文献3)等。
但是,前者的以侧链上具有环状结构的(甲基)丙烯酸酯为共聚成 分的树脂组合物存在如下问题:为了提高耐热性而增大其使用比率时, 其与基板的密合性降低;对显影工序中使用的显影液的树脂的溶解性 降低,显影工序中花费的时间延长,而且不能显影,无法得到规定的 图案;即使得到图案,在进行为了固着涂膜而实施的加热处理的后固 化时,侧链被热分解,成为挥发性成分,由此污染生产线。
对后者的以含有马来酰亚胺的单体为共聚成分的树脂组合物而 言,由于分子中含有的氮原子,引起由黄色着色为黄褐色,使涂膜的 透明性恶化。而且存在如下问题:在进行加热处理的后固化时,着色 进一步进行。
专利文献1:特开2006-190848号公报
专利文献2:特开2004-240396号公报
专利文献3:特开2003-29018号公报
发明内容
发明要解决的问题
本发明的目的在于,提供感光性树脂组合物,所述感光性树脂组 合物不仅具有可以用于光刻工序的显影特性,而且能形成耐热性、密 合性、透明性均优异的固化涂膜。
用于解决问题的手段
本发明人等为了解决上述课题,进行了潜心研究。其结果发现, 包含含有在分子中具有2个以上羟基的聚合性单体(a-1)、和在分子中 可具有碳数6~20的交联结构的具有脂环式骨架的聚合性单体(a-2) 作为必须成分的共聚物的树脂组合物,能解决上述课题,基于该见解 完成了本发明。
即,本发明的感光性树脂组合物是含有聚合物成分(A)和光聚合性 单体(B)而形成的感光性树脂组合物,其特征在于,聚合物成分(A)是 含有以在分子中具有2个以上羟基的聚合性单体(a-1)和在分子中可 具有碳数6~20的交联结构的具有脂环式骨架的聚合性单体(a-2)为 必须的单体成分而形成的共聚物。
发明的效果
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