[发明专利]功能材料在基材上形成图案的方法无效

专利信息
申请号: 200780035972.2 申请日: 2007-09-07
公开(公告)号: CN101517484A 公开(公告)日: 2009-08-26
发明(设计)人: G·B·布朗谢特;李喜现;G·D·杰科克斯 申请(专利权)人: E.I.内穆尔杜邦公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 朱黎明
地址: 美国特*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 功能 材料 基材 形成 图案 方法
【权利要求书】:

1.一种在基材上形成功能材料的图案的方法,该方法包括:

a)提供具有带凸起表面的浮雕结构的弹性压模,该弹性压模的弹性模量至少为10兆帕;

b)将包含功能材料和液体的组合物施用在浮雕结构上;

c)从浮雕结构上的组合物充分除去液体,以至少在凸起表面形成功能材料的薄膜;和

d)将功能材料从凸起表面转移至基材。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,基材上功能材料的厚度为10-

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述转移步骤包括以小于约5磅/厘米2的压力使压模的凸起表面与基材接触。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:导电材料、半导体材料、介电材料、小分子材料、生物基材料以及它们的组合。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:电活性材料、光活性材料和生物活性材料。

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:绝缘材料、平面化材料、阻挡材料和限制材料。

7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料包含一种或多种氟化化合物,所述方法还包括步骤e)对基材上氟化化合物的图案进行光化辐照曝光。

8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:有机染料、半导体分子、荧光生色团、磷光生色团、药理学活性化合物、生物活性化合物、具有催化活性的化合物,以及它们的组合。

9.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:光致发光材料、电致发光材料,以及它们的组合。

10.如权利要求1所述的方法,其特征在于,功能材料选自下组:脱氧核糖核酸(DNA)、蛋白质、聚(低聚)肽和聚(低聚)糖类。

11.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料包含选自下组的纳米颗粒:导电材料、半导体材料和介电材料。

12.如权利要求11所述的方法,其特征在于,所述纳米颗粒的直径约为3-100纳米。

13.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料为纳米颗粒形式,除去液体后形成不连续的膜。

14.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料包含导电材料的纳米颗粒,所述方法还包括步骤e)对基材上的纳米颗粒进行烧结,形成导电材料的连续膜。

15.如权利要求14所述的方法,其特征在于,所述烧结步骤包括加热纳米颗粒至最高约为220℃的温度。

16.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料是选自下组的导电材料:银、金、铜、钯、氧化铟锡,以及它们的组合。

17.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料是选自下组的半导体材料:硅、锗、砷化镓、氧化锌、硒化锌,以及它们的组合。

18.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料是量子点。

19.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:碳纳米管、导电碳纳米管、半导体碳纳米管、以及它们的组合。

20.如权利要求1所述的方法,其特征在于,除去步骤c)包括对组合物加热。

21.如权利要求1所述的方法,其特征在于,除去步骤c)是通过在组合物上吹气流进行。

22.如权利要求1所述的方法,其特征在于,除去步骤c)是通过蒸发进行。

23.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述弹性压模包括一层组合,该组合物选自下组:硅氧烷聚合物;环氧聚合物;共轭二烯烃的聚合物;A-B-A型嵌段共聚物的弹性体嵌段共聚物,其中,A代表非弹性嵌段,B代表弹性嵌段;丙烯酸酯聚合物;含氟聚合物,能够聚合的含氟化合物,以及它们的组合。

24.如权利要求1所述的方法,所述方法还包括由一层光敏组合物形成弹性压模。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于E.I.内穆尔杜邦公司,未经E.I.内穆尔杜邦公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200780035972.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top