[发明专利]功能材料在基材上形成图案的方法无效
申请号: | 200780035972.2 | 申请日: | 2007-09-07 |
公开(公告)号: | CN101517484A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | G·B·布朗谢特;李喜现;G·D·杰科克斯 | 申请(专利权)人: | E.I.内穆尔杜邦公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 朱黎明 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 功能 材料 基材 形成 图案 方法 | ||
1.一种在基材上形成功能材料的图案的方法,该方法包括:
a)提供具有带凸起表面的浮雕结构的弹性压模,该弹性压模的弹性模量至少为10兆帕;
b)将包含功能材料和液体的组合物施用在浮雕结构上;
c)从浮雕结构上的组合物充分除去液体,以至少在凸起表面形成功能材料的薄膜;和
d)将功能材料从凸起表面转移至基材。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,基材上功能材料的厚度为10-
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述转移步骤包括以小于约5磅/厘米2的压力使压模的凸起表面与基材接触。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:导电材料、半导体材料、介电材料、小分子材料、生物基材料以及它们的组合。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:电活性材料、光活性材料和生物活性材料。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:绝缘材料、平面化材料、阻挡材料和限制材料。
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料包含一种或多种氟化化合物,所述方法还包括步骤e)对基材上氟化化合物的图案进行光化辐照曝光。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:有机染料、半导体分子、荧光生色团、磷光生色团、药理学活性化合物、生物活性化合物、具有催化活性的化合物,以及它们的组合。
9.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:光致发光材料、电致发光材料,以及它们的组合。
10.如权利要求1所述的方法,其特征在于,功能材料选自下组:脱氧核糖核酸(DNA)、蛋白质、聚(低聚)肽和聚(低聚)糖类。
11.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料包含选自下组的纳米颗粒:导电材料、半导体材料和介电材料。
12.如权利要求11所述的方法,其特征在于,所述纳米颗粒的直径约为3-100纳米。
13.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料为纳米颗粒形式,除去液体后形成不连续的膜。
14.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料包含导电材料的纳米颗粒,所述方法还包括步骤e)对基材上的纳米颗粒进行烧结,形成导电材料的连续膜。
15.如权利要求14所述的方法,其特征在于,所述烧结步骤包括加热纳米颗粒至最高约为220℃的温度。
16.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料是选自下组的导电材料:银、金、铜、钯、氧化铟锡,以及它们的组合。
17.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料是选自下组的半导体材料:硅、锗、砷化镓、氧化锌、硒化锌,以及它们的组合。
18.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料是量子点。
19.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述功能材料选自下组:碳纳米管、导电碳纳米管、半导体碳纳米管、以及它们的组合。
20.如权利要求1所述的方法,其特征在于,除去步骤c)包括对组合物加热。
21.如权利要求1所述的方法,其特征在于,除去步骤c)是通过在组合物上吹气流进行。
22.如权利要求1所述的方法,其特征在于,除去步骤c)是通过蒸发进行。
23.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述弹性压模包括一层组合,该组合物选自下组:硅氧烷聚合物;环氧聚合物;共轭二烯烃的聚合物;A-B-A型嵌段共聚物的弹性体嵌段共聚物,其中,A代表非弹性嵌段,B代表弹性嵌段;丙烯酸酯聚合物;含氟聚合物,能够聚合的含氟化合物,以及它们的组合。
24.如权利要求1所述的方法,所述方法还包括由一层光敏组合物形成弹性压模。
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