[发明专利]利用振动传感器测量旋转速率的装置

权利要求书

1.一种利用振动传感器(1，2，3)测量旋转速率的装置，借助 于多个电容性驱动元件(11至14)来激发和测量所述振动传 感器的垂直于第一轴线的振动，以及借助于多个电容性测量元 件(24，25)来测量所述振动传感器的在第二轴线上的旋转， 所述在第二轴线上的旋转由在科里奥利力的作用下在第三轴 线上的旋转而激发，其中所述电容性驱动元件和所述电容性测 量元件分别由多个固定电极(18，18′；24，25)和可与所述 振动传感器一起移动的电极(17；1)构成，以及所述这些可 移动的电极(17；1)一起与固定接头(2；23)连接，其特征 在于，将激励电压输送至所述电容性驱动元件(11至14)的 所述固定电极(18，18′)，所述激励电压的频率与所述振动传 感器(1，2，3)的谐振频率或与谐振频率的分谐波相对应； 将具有高于所述激励电压的频率的第一测量频率的交流电压 输送至用于测量被激发了的振动的电容性元件(15，16)；以 及将具有不同于所述第一测量频率且高于所述激励电压的频 率的第二测量频率的交流电压输送至所述电容性测量元件的 所述固定电极(24，25)，其中，设置有第一设备，所述第一 设备在使用具有所述第二测量频率的交流电压的情况下对由 所述固定接头(23)分接的信号进行解调以用于形成描述所述 旋转速率的信号，并随后利用所述激励电压进行同步解调，以 及设置有第二设备，所述第二设备进一步利用所述第一测量频 率对由所述固定接头(23)分接的所述信号进行解调并将被解 调的所述信号应用于调节所述激励电压。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，设置有多个其它电 容性测量元件(15，16)用于测量被激发了的振动。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电容性驱动元 件用于测量被激发了的振动。

4.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，在所述 固定接头(23)上连接有电荷放大器(27)，所述电荷放大器 的输出端与带通滤波器(30)连接。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，设置有至少四组电 容性驱动元件，其中利用逆相的交流电压分量和相同的偏压分 别加载两组所述电容性驱动元件。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，设置有至少四组电 容性驱动元件，其中利用逆相的交流电压分量和相同的偏压分 别加载两组所述电容性驱动元件。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一测量频率 和所述第二测量频率处于所述激励电压的频率的10倍直至 500倍的范围内。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一测量频率 和所述第二测量频率处于所述激励电压的频率的10倍直至 500倍的范围内。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述振动传感器是 振动陀螺仪(1至18′)。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述振动传感器是 振动陀螺仪(1至18′)。