[发明专利]质量流量控制器

权利要求书

1.一种质量流量控制器，包含：

流量传感部，用来测定在流路内流动的流体流量，并将表示所测定的流量测定值的流 量测定信号输出；

流量控制阀，设置在此流量传感部的上游侧或下游侧；

控制部，由规定的算式计算流量控制阀的开度控制信号并加以输出，所述算式至少包 含有所述流量测定信号所表示的流量测定值与目标值即流量设定值，来作为其参数；及

压力传感部，检测所述流量传感部的上游侧或下游侧的所述流体的压力，并输出表示 此压力值的压力检测信号；

且所述控制部使所述算式在下列两段期间内互不相同：自所述流量设定值发生超过规 定量以上的变化的时间点开始的规定期间即变化期间，与除此以外的期间即稳定期间；又

至少在所述稳定期间，所述算式的参数还包含有所述压力值。

2.如权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述算式由下列算式(a)所表 示：

V＝P·ε+I∫ε·δt+D·δε/δt+Y·Δp…(a)

其中ε＝S-OUT

又，V是反馈控制值，根据此数值设定所述开度控制信号；P、I、D、Y分别是系数； S是所述流量设定值，OUT是所述流量测定值；Δp是由所述压力传感部所检测的压力值的 时间微分值或以包含时间微分值的算式所表示的数值。

3.如权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述算式由下列算式(b)所表 示：

V＝(P·ε+I∫ε·δt+D·δε/δt)·Y·Δp…(b)

其中ε＝S-OUT

又，V是反馈控制值，根据此数值设定所述开度控制信号；P、I、D、Y分别是系数； S是所述流量设定值，OUT是所述流量测定值；Δp是由所述压力传感部所检测的压力值的 时间微分值或以包含时间微分值的算式所表示的数值。

4.如权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述算式由下列算式(c)所表 示：

V＝P·ε’+I∫ε’·δt+D·δε’/δt…(c)

其中ε’＝h(S，OUT，Δp)

又，V是反馈控制值，根据此数值设定所述开度控制信号；P、I、D分别是系数；S是 所述流量设定值，OUT是所述流量测定值；Δp是由所述压力传感部所检测的压力值的时 间微分值或以包含时间微分值的算式所表示的数值；h是至少以S、OUT、Δp为参数的函 数。

5.如权利要求4所述的质量流量控制器，其特征在于，所述ε’由下列算式(d)或(e) 所表示：

ε’＝S-(OUT+X·Δp)......(d)

ε’＝S-(OUT·X·Δp)......(e)

又，X是系数。

6.如权利要求4所述的质量流量控制器，其特征在于，所述ε’由下列算式(f)或(g) 所表示：

ε’＝(S·X·Δp)-OUT......(f)

ε’＝(S-X·Δp)-OUT......(g)

又，X是系数。

7.如权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，还包含流量输出部，对所述流量 测定值施以规定的运算并输出流量表示值，此流量输出部在变化期间与稳定期间，分别对 流量测定值施以不同的运算。

8.如权利要求7所述的质量流量控制器，其特征在于，所述流量输出部，在稳定期间， 使所述流量测定值在时间上经过延迟后输出，而在变化期间，则以所述流量测定值直接输 出。

9.如权利要求7所述的质量流量控制器，其特征在于，所述流量输出部至少以由所述压 力传感部所检测的压力值的时间微分值作为参数，自所述流量测定值计算所述流量表示 值。

10.如权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述变化期间的时间被设定为一 直保持一定。

11.如权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述变化期间在流量测定值与流 量设定值的偏差收敛至一定范围内的时间点结束。