[发明专利]基板输送装置

权利要求书

1.一种基板输送装置，包括：

输送部，单张式输送基板；以及

缓冲部，设置于由该输送部形成的输送路径的中途部位，并且，将由所述输送部输送的所述基板暂时存留后输出，

所述缓冲部包括：

基板盒，具备能够将多个所述基板收纳为水平姿势的多层收纳部；以及

基板输入输出部，能够访问任意的所述收纳部，并且，在所述基板盒和所述输送部之间交接所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

所述缓冲部具备把手部，该把手部通过向和所述基板的输送方向正交的方向进行的往返运动而相对于所述基板盒进行插拔并且具有能够输送所述基板的输送辊。

3.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述缓冲部具备能够非接触地支承所述基板的支承部。

4.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

多个所述缓冲部并列地连接到所述输送路径。

5.根据权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，

多个所述缓冲部并列地连接到所述输送路径。