[发明专利]自动测试和特征化数据分析方法和装置

权利要求书

1.一种对配置为安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的 方法，所述等离子工艺系统在生产期间利用生产系统控制软件 进行控制，该方法包含：

提供自动测试和特征化夹具，所述自动测试和特征化夹 具至少包括：

第一系统控制软件包，其代表所述生产系统控制软件，

数据管理器模块，其配置为通过计算机网络，从第一数 据库中取得规范数据，

测试管理器模块，其配置为利用所述第一系统控制软件 包执行为测试所述组件设计的测试组，

系统控制软件包接口引擎，其配置为向所述第一系统控 制软件包提供至少所述测试组，

数据分析模块，其配置为提供计算机实现数据分析工具 给用户，以分析在测试所述第一组件时取得的测试数据，

将所述自动测试和特征化夹具与所述第一组件耦合，以 使所述自动测试和特征化夹具中的所述第一系统控制软件包 能够利用该测试组和至少一部份所述规范数据对该第一组件 进行测试，其中，熄掉测试所述第一组件时不存在的所述等离 子工艺系统的缺失组件以模拟所述缺失组件，从而允许使用该 第一系统控制软件包在模拟环境中对该第一组件进行测试，就 像在测试该第一组件的时候该缺失组件是存在的一样。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，该计算机网络代表因特网。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述规范数据代表销售商 在测试与所述第一组件类型相同的组件时使用的数据，而无论 哪家所述销售商实际上对与所述第一组件类型相同的组件进 行所述测试。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述测试管理器模块被赋 予了使用Web服务器访问所述第一数据库的权限。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述规范数据是由所述等 离子工艺系统的生产商提供给所有销售商测试与所述第一组 件类型相同的组件的，而无论哪家所述销售商实际上对与所述 第一组件类型相同的组件进行所述测试。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，还包含使用所述数据管理 器模块从对所述第一组件的所述测试中取得测试结果，并通过 因特网上传所述测试结果至第二数据库以进行后续分析。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，该测试结果以预先定义的 格式存储，该格式对所有的销售商测试的与该第一组件类型相 同的组件都一致，而无论是哪家所述销售商实际上对与所述第 一组件类型相同的所述组件进行所述测试。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一系统控制软件包 代表所述生产系统控制软件的精确拷贝。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述数据分析模块进一步 配置为监控所述测试数据触发通知事件的条件。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述数据分析模块还包括 自动通知模块，其配置为如果所述触发通知事件的条件满足， 则发送通知。