[发明专利]用于干燥基体的设备和方法

说明书

背景技术

【0001】在用于半导体和磁盘制造的许多制造过程中，有必要在液体 环境中处理工件并且之后干燥该工件。众所周知地，在干燥过程中附 着的颗粒或污染物最终可能会导致工件内的缺陷。此外，低效干燥可 能不仅增加了处理时间，还可能会在工件表面留下缺陷并且促进氧化。 因此，极其重要的是当干燥基体时在其表面上没有杂质残留。此外， 在干燥过程期间，晶片保持机构接触晶片/工件。在干燥过程中有时会 遗留下的缺陷之一是：干燥期间在晶片/工件被保持的接触点处存在干 燥斑痕。为了消除这个缺陷，下面描述的实施例提供了一种用于有效 地干燥半导体制造工件的双移交机构(dual handoff mechanism)。

发明内容

【0002】本发明的实施例提供用于有效地干燥基体的系统和方法。应 该意识到的是，本发明可以以大量的方式被实现，例如作为过程、设 备、系统、装置或方法。下面描述了本发明的几个创造性实施例。

【0003】在一个实施例中，提供用于干燥工件的系统。该系统包括腔， 该腔包含在腔的第一部分内的清洗流体以及在腔的第二部分内的干燥 区域。该系统也包括湿转换臂，该湿转换臂被配置成当被置于所述清 洗流体中时支撑多个工件。也包括干转换臂，该干转换臂被配置成当 湿转换臂朝向清洗流体和干燥区域的分界面抬起时接收来自湿转换臂 的所述多个工件。干转换臂和湿转换臂被连接到公共驱动机构，其中 该公共驱动机构包括第一发动机和第二发动机。第一发动机被配置成 驱动湿转换臂和干转换臂，并且第二发动机被配置成控制湿转换臂和 干转换臂之间的分离量。

【0004】在另一个实施例中，提供用于传送工件的转换臂。该转换臂 包括第一波纹管和第二波纹管以及被可移动地附连到第一波纹管和第 二波纹管上的波纹管曲柄。波纹管曲柄具有从其上延伸出的第一延长 部和第二延长部。转换臂还包括第一扭转杆和第二扭转杆，在第一扭 转杆和第二扭转杆被连接到各自的第一延长臂和第二延长臂处该第一 扭转杆和第二扭转杆被枢转地连接到波纹管曲柄上。第一扭转杆和第 二扭转杆支撑相应的第一延长臂和第二延长臂，其中第一波纹管的扩 张导致波纹管曲柄的第一延长部和第二延长部将旋转运动施加到第一 扭转杆和第二扭转杆，从而导致第一延长臂和第二延长臂的底部移动 远离彼此。

【0005】在又一个实施例中，提供用于干燥工件的方法。该方法开始 于将多个工件从水平传送器转移到第一转换臂并且将第一转换臂降低 到清洗流体的容器的底部内。该方法包括将第一转换臂从容器的底部 抬起到清洗流体/空气分界面。当抬起第一转换臂时，扩大位于清洗流 体空气分界面之上的第二转换臂上的一对延长部之间的间隙。当工件 的中线区域被抬起到一对臂的底部之上后，一对延长部之间的间隙被 部分闭合。第二转换臂的抬起快于第一转换臂，从而将所述多个工件 从第一转换臂提起。

【0006】通过下述结合附图以示例方式描述本发明原理的详细说明， 本发明的其他方面将变得显而易见。

附图说明

【0007】结合附图通过下述详细说明可以容易地理解本发明，并且类 似参考标记标识类似结构元件。

【0008】图1A是示出根据本发明的一个实施例的双移交干燥系统的简 化示意图。

【0009】图1B是示出根据本发明的一个实施例将工件从湿环境向干环 境转换的图1A系统的简化示意图。

【0010】图1C是示出根据本发明的一个实施例将工件完全转换到腔的 干区域内的简化示意图。

【0011】图1D是示出根据本发明的一个实施例当工件处于提升位置时 腔的侧面横截面的简化示意图。

【0012】图2是示出根据本发明的一个实施例具有湿转换支撑件和干 转换支撑件以便处理工件的干燥系统的概观的简化示意图。

【0013】图3A是示出根据本发明的一个实施例用于图2系统的支撑件 的驱动机构透视图的简化示意图。

【0014】图3B是示出与图3A相比在湿转换支撑件和干转换支撑件之 间的分离改变的简化示意图。

【0015】图4A是示出根据本发明的一个实施例用于干燥工件的系统的 概观的简化示意图。

【0016】图4B是示出转换支撑件处于降低位置时图4A的系统的简化 示意图。

【0017】图5A是示出根据本发明的一个实施例的干转换支撑件的侧透 视图的简化示意图。