[发明专利]传感器

说明书

技术领域

本发明涉及一种传感器，其检测用于飞机、汽车、机器人、船舶、车辆等移动体的姿势控制或导航等各种电子设备的加速度或角速度。

背景技术

首先参照图20，对现有的加速度传感器进行说明。

现有的加速度传感器具有：固定基板101、配置于固定基板101上的底座玻璃102、配置于底座玻璃102上的可挠基板103、配置于可挠基板103的下面的锤部104。

另外，在可挠基板103的上方，以与可挠基板103相对的方式配置玻璃基板105，在可挠基板103和玻璃基板105的相对面分别设有相对电极106(专利文献1)。

接着，对使用了这样的加速度传感器的加速度检测进行说明。

当产生加速度时，由于锤部104向产生加速度的轴方向移动，所以，配置有锤部104的可挠基板103发生挠曲。于是，可挠基板103和玻璃基板105的相对距离发生变化，因此，基于该相对距离的变化引起的相对电极106间的静电容的变化而检测加速度。

使这样的加速度传感器对应于要检测的检测轴，用于车辆等移动体的姿势控制装置或导航装置等。

但是，在上述结构中，虽然基于相对电极106间的静电容的变化而检测加速度，但由于锤部104以在固定基板101的上方悬空的状态配置于可挠基板103的下面，所以锤部104在Z轴方向上容易位移。

例如，在锤部104在Z轴方向上位移使相对电极106间分离时，相对电极106间的静电容的值减小。因此，在该状态下，存在如下问题，即使在X轴或Y轴方向产生加速度，因该加速度引起的相对电极106间的静电容的变化也减小，从而导致X轴或Y轴的加速度的检测精度恶化。

接着，例如对专利文献2及专利文献3等中已知的、现有的检测角速度和加速度的传感器进行说明。

目前，在使用检测角速度或加速度的传感器的情况下，为了检测角速度而使用专用的角速度传感器，为了检测加速度而使用专用的加速度传感器。

因此，在各种电子设备中，在复合检测角速度和加速度时，分别将多个角速度传感器和加速度传感器安装于各种电子设备的安装基板上。

角速度传感器通常使音叉形状、H形状或T形状等各种形状的检测元件振动，电探测随科里奥利力的产生而引起检测元件的变形，从而检测出角速度。另一方面，如上所述，加速度传感器具有锤部104，探测锤部104随加速度的可动，并与可动前进行比较，从而检测出加速度。

使这样的角速度传感器或加速度传感器与想检测的检测轴对应，用于车辆等移动体的姿势控制装置或导航装置等。

但是，上述现有的结构存在如下问题，由于使传感器与想检测的角速度或加速度的检测轴对应，分别将角速度传感器及加速度传感器安装于安装基板，因此，必须确保安装面积，就存在不能实现小型化的问题。

专利文献1：(日本)特开平10-177034号公报

专利文献2：(日本)特平2001-208546号公报

专利文献3：(日本)特平2001-74767号公报

发明内容

本发明是为解决上述问题点而提出的，其提供一种传感器，其抑制锤部向Z轴方向的位移，提高X轴或Y轴的加速度的检测精度，另外，提供一种传感器，其在检测角速度或加速度时，减小安装面积，实现小型化。

本发明具备检测元件，该检测元件具有加速度检测部。加速度检测部具有：经由可挠部与固定部连结的锤部、与锤部相对的基板部、由配置于锤部及基板部的各自的相对面的相对电极构成的电极部。

根据上述结构，抑制锤部向Z轴方向的位移，能够提高X轴或Y轴的加速度的检测精度。

本发明优选在加速度检测部设置按压锤部或可挠部的按压部，且检测相对电极间的静电容变化，从而检测出加速度。

根据上述结构，在连结固定部与锤部的可挠部或锤部通常由按压部施加按压力。例如，只要按压部朝向Z轴方向按压锤部或可挠部，则由于抑制锤部向Z轴方向位移，所以配置于锤部及基板的各自的相对面的全部的相对电极间的相对距离难以隔开，不会使X轴或Y轴的加速度的检测精度下降，而能够提高检测精度。

本发明优选基板部由以在重力方向夹持锤部的方式而相对配置的第一基板及第二基板构成，相对电极配置在锤部、第一基板及第二基板的各自的相对面，加速度检测部检测相对电极间的静电容变化，从而检测出加速度。