[发明专利]光纤式温度计以及温度补偿型光纤传感器

权利要求书

1.一种光纤式温度计，其特征在于，包括：

一根光发送用光纤，其用于将来自光源的光传送到测量部；

两根光接收用光纤，其用于将由配置于测量部的反射镜的反射面所反射的光分别传送到两个光接收部；以及

运算处理电路，其根据来自两个光接收部的电信号之比计算测量部的温度，

其中，与反射面对置的上述一根光发送用光纤和上述两根光接收用光纤这三根光纤的端面被固定，以使光纤长度方向与反射面的法线所成的角度θ是非零度，两根光接收用光纤平行，光发送用光纤和光接收用光纤的固定角度以反射面的法线为基准对称，并且所述各光纤在使用的波长下是单模的。

2.根据权利要求1所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述角度θ是8°以上。

3.根据权利要求1所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述测量部是通过将温度测量用三芯阵列和所述反射镜固定于阵列固定基材而构成的，其中，所述温度测量用三芯阵列是将所述光发送用光纤和两根光接收用光纤的测量部侧的端部固定于V槽阵列基板而构成的。

4.根据权利要求2所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述测量部是通过将温度测量用三芯阵列和所述反射镜固定于阵列固定基材而构成的，其中，所述温度测量用三芯阵列是将所述光发送用光纤和两根光接收用光纤的测量部侧的端部固定于V槽阵列基板而构成的。

5.根据权利要求3所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述反射镜基材的线膨胀系数比所述阵列固定基材的材料的线膨胀系数小。

6.根据权利要求4所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述反射镜基材的线膨胀系数比所述阵列固定基材的材料的线膨胀系数小。

7.根据权利要求3所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述阵列固定基材的线膨胀系数是在8.6×10^-6～27×10^-61/℃的范围内。

8.根据权利要求4所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述阵列固定基材的线膨胀系数是在8.6×10^-6～27×10^-61/℃的范围内。

9.根据权利要求5所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述阵列固定基材的线膨胀系数是在8.6×10^-6～27×10^-61/℃的范围内。

10.根据权利要求6所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述阵列固定基材的线膨胀系数是在8.6×10^-6～27×10^-61/℃的范围内。

11.根据权利要求3所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述温度测量用三芯阵列包括由石英玻璃构成的V槽阵列基板和光纤压盖。

12.根据权利要求4所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述温度测量用三芯阵列包括由石英玻璃构成的V槽阵列基板和光纤压盖。

13.根据权利要求5所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述温度测量用三芯阵列包括由石英玻璃构成的V槽阵列基板和光纤压盖。

14.根据权利要求6所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述温度测量用三芯阵列包括由石英玻璃构成的V槽阵列基板和光纤压盖。

15.根据权利要求7所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述温度测量用三芯阵列包括由石英玻璃构成的V槽阵列基板和光纤压盖。

16.根据权利要求8所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述温度测量用三芯阵列包括由石英玻璃构成的V槽阵列基板和光纤压盖。

17.根据权利要求9所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述温度测量用三芯阵列包括由石英玻璃构成的V槽阵列基板和光纤压盖。

18.根据权利要求10所述的光纤式温度计，其特征在于，

所述温度测量用三芯阵列包括由石英玻璃构成的V槽阵列基板和光纤压盖。