[发明专利]传感器膜的制造方法

权利要求书

1.一种利用比较真空测量方法测量材料表面裂纹的传感器膜的制造方 法，

其中，所述制造方法包括：

将所述传感器膜(1)施加在回火表面上；

在铣削之前，使所述传感器膜(1)在第一温度下和第一时间间隔 进行回火；

在第二时间间隔将所述传感器膜冷却到环境温度；

利用铣削装置(3)，沿包含塑料材料的传感器膜(1)的表面铣削 具有预定廊道路径的廊道(2)，和，

利用所述铣削装置(3)，沿所述传感器膜(1)的表面铣削具有另 外的预定廊道路径的另外的廊道(20)。

2.根据权利要求1所述的方法，

使所述传感器膜(1)进行回火之后，将所述传感器膜(1)施加在 真空台(4)上；

产生真空以将所述传感器膜(1)固定在所述真空台(4)上用于铣 削所述廊道(2)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，

其中，所述铣削装置(3)设置为利用高速铣削来铣削所述廊道(2)；

其中，所述铣削装置的速度为19000～21000rpm。

4.根据权利要求1所述的方法，

在所述铣削之前，使所述传感器膜(1)在280～320℃的第一温度 下和8～12分钟的第一时间间隔内进行回火。

5.根据权利要求1所述的方法，

在所述传感器膜(1)中以预定深度铣削所述廊道(2)。

6.根据权利要求1所述的方法，

铣削所述廊道(2)，使得沿所述传感器膜(1)形成具有预定廊道 路径的通槽，

在所述通槽的一侧上施加密封层。

7.根据权利要求1所述的方法，

利用喷嘴(6)吹除在所述铣削过程中产生的铣削碎屑，

利用所述喷嘴(6)在所述铣削过程中使所述传感器膜冷却。

8.根据权利要求1所述的方法，

利用抽吸装置(7)吹除在所述铣削过程中产生的铣削碎屑，

利用所述抽吸装置(7)在所述铣削过程中使所述传感器膜冷却。

9.根据权利要求1所述的方法，

在所述廊道(2)中施加表面密封。

10.根据权利要求9中所述的方法，

其中所述表面密封是金属清漆密封。

11.根据权利要求1所述的方法，

其中，平行于所述廊道(2)的预定廊道路径，铣削具有所述另外 的预定廊道路径的所述另外的廊道(20)。

12.根据权利要求2所述的方法，

利用胶粘带将所述传感器膜(1)固定在所述真空台(4)上。

13.根据权利要求1所述的方法，

其中，所述塑料材料包括聚酰亚胺材料。

14.根据权利要求1所述的方法，

其中，所述预定廊道路径为线性的廊道路径。

15.根据权利要求1所述的方法，

其中，所述预定廊道路径为弯曲的廊道路径。

16.根据权利要求1所述的方法，

利用所述铣削装置的镗磨刀具(3)，在所述廊道中铣削预定的廊 道形状。

17.一种利用比较真空测量方法测量材料表面裂纹的传感器膜，

其中，所述传感器膜(1)是根据权利要求1～16中任一项制造的，

其中，所述传感器膜(1)包含塑料材料并且具有铣削的廊道。