[发明专利]陶瓷多孔膜和陶瓷过滤器

权利要求书

1.一种硅质陶瓷多孔膜，该硅质陶瓷多孔膜在具有2至20nm的平均细 孔直径的二氧化钛超滤膜上形成，其中具有重量比小于等于0.2的硅质/二氧化 钛氧化物的部分，根据EDX元素分析，该部分厚度大于等于超滤膜从超滤膜 最下表面的厚度的1/2。

2.根据权利要求1的硅质陶瓷多孔膜，该硅质陶瓷多孔膜形成于中间层 上，该中间层至少在与具有2至20nm平均细孔直径的二氧化钛超滤膜接触的 表面上具有1至5nm平均细孔直径，其中具有重量比小于等于0.2的硅质/二 氧化钛氧化物的部分，根据EDX元素分析，该部分厚度大于等于超滤膜从超 滤膜最下表面的厚度的1/2。

3.一种陶瓷过滤器，包括：

多孔基件；

形成于所述多孔基件上且具有2至20nm平均细孔直径的二氧化钛超 滤膜，和

形成在所述超滤膜上的硅质陶瓷多孔膜，其中具有重量比小于等于 0.2的硅质/二氧化钛氧化物的部分，根据EDX元素分析，该部分厚度大于等 于超滤膜从超滤膜最下表面的厚度的1/2。

4.根据权利要求3的陶瓷过滤器，该陶瓷过滤器在所述超滤膜与所述陶 瓷多孔膜之间具有中间层，该中间层在至少在与所述超滤膜接触的表面上具有 1至5nm的平均细孔直径。